[发明专利]扩散炉炉门装置

说明书

技术领域

本发明主要涉及太阳能电池的制造设备，尤其涉及一种扩散炉炉门装置。

背景技术

扩散是太阳能电池制造过程中至关重要的一步，故提高扩散炉的可靠性已刻不容缓，现有扩散炉炉门为旋转运动方式，由炉门、炉门固定板、旋转运动副、开关气缸、安装板、进退气缸、厢式直线轴承等部件构成。炉门通过炉门固定板与安装板组成一个旋转运动副，由安装在安装板上的开关气缸推动炉门围绕旋转运动副旋转来实现炉门的开关。

现有扩散炉旋转式炉门在开启或闭合时，需要气缸推动炉门围绕支撑点旋转到合适位置，在这个过程中，需要很大空间来实现炉门的旋转运动，在废气室上需要预留一个较大的连接孔来满足炉门的旋转运动，会造成工艺废气的泄露。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单紧凑、防腐蚀、使用寿命长的扩散炉炉门装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种扩散炉炉门装置，包括门体、底板、进退驱动组件和平移驱动组件，所述进退驱动组件滑设于底板上，所述平移驱动组件滑设于进退驱动组件上，所述门体与平移驱动组件连接。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述进退驱动组件包括进退驱动气缸、气缸安装座和支撑板，所述进退驱动气缸装设于气缸安装座上，所述支撑板与进退驱动气缸连接，所述平移驱动组件滑设于支撑板上，所述支撑板滑设底板上。

所述支撑板上装设有平移导向轴，所述平移驱动组件滑设于平移导向轴上。

所述支撑板上还装设有平移行程开关安装座，所述平移行程开关安装座上装设有用于控制平移驱动组件移动行程的平移行程开关。

所述平移驱动组件包括平移驱动气缸和支撑部件，所述平移驱动气缸滑设于平移导向轴上，所述支撑部件一端与门体固接，另一端与平移驱动气缸连接。

所述支撑部件包括固定板组和支撑杆，所述固定板组与平移驱动气缸连接，所述支撑杆一端与门体固接，另一端与固定板组连接。

所述底板上装设有进退导向轴，所述进退驱动组件滑设于进退导向轴上。

所述底板上还装设有进退行程开关安装座，所述进退行程开关安装座上装设有用于控制进退驱动组件移动行程的进退行程开关。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的扩散炉炉门装置，当门体由开启状态变为闭合状态时，本装置的运行方式是：首先，进退驱动组件启动，此时，进退驱动组件会通过平移驱动组件带动门体向炉管方向动动，然后平移驱动组件启动，此时平移驱动组件带动门体平移至与炉管对准的位置，最后，再一次启动进退驱动组件，使门体与炉管完全贴合；当门体由闭合状态变为开启状态时，运动方式则是将上述方式反向运行即可。该装置中，整个开启或闭合过程均为直线型运动，使得只需要在废气室侧板上冲出一个较小的连接孔来满足该直线型运动，该孔直径会远小于废气室的排废孔，使该孔周围气压大于排废空周围的气压，废气室内的废气会直接从排废空排出，而不会由该孔进入炉门驱动装置安装处，故采用本装置时，可以有效缓解废气室废气对炉门驱动装置的腐蚀作用，起到很好的保护作用，而且，其结构也更为简单紧凑。

附图说明

图1是本发明扩散炉炉门装置的主视结构示意图。

图2是本发明扩散炉炉门装置的侧视结构示意图。

图3是本发明扩散炉炉门装置的立体结构示意图。

图中各标号表示：

1、门体；2、底板；21、进退导向轴；3、进退驱动组件；31、进退驱动气缸；32、气缸安装座；33、支撑板；331、平移导向轴；34、平移行程开关安装座；4、平移驱动组件；41、平移驱动气缸；42、支撑部件；421、固定板组；422、支撑杆；5、进退行程开关安装座。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。