[发明专利]一种高灵敏度紫外光探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种高灵敏度紫外光探测器，其特征在于，包括：一半导体衬底，建立在衬底上的栅极，以及形成沟道的石墨烯片；其中，石墨烯片上叠设有紫外光吸收型有机薄膜，石墨烯片的两端耦合源、漏电极，并通过栅氧层与栅极隔离。

2.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述有机薄膜为C5-BTBT。

3.根据权利要求2所述的紫外光探测器，其特征在于，所述C5-BTBT中掺杂有p-DR1。

4.根据权利要求3所述的紫外光探测器，其特征在于，所述p-DR1的掺杂比例为4-6％。

5.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述石墨烯片为一至多层。

6.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述源、漏电极为金属电极。

7.根据权利要求6所述的紫外光探测器，其特征在于，所述金属电极材料为Au。

8.一种高灵敏度紫外光探测器的制作方法，其特征在于，包括：提供一半导体衬底，在所述衬底上制备栅极和作为沟道的石墨烯片；在石墨烯片上形成紫外光吸收型有机薄膜，并在有机薄膜上制备源、漏电极。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，石墨烯片沟道的制备方法包括：通过机械剥离方法或者CVD方法获得单层、双层或多层石墨烯片，将获得的石墨烯片转移到所述衬底上；形成紫外光吸收型有机薄膜的方法包括：在转移后的石墨烯片上旋涂紫外光吸收型有机物成膜，并在真空中干燥成型；制备源、漏电极的方法包括：在有机薄膜的两端通过真空蒸发方法淀积电极金属，形成源、漏金属电极。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述衬底为刚性或柔性衬底，所述紫外光吸收型有机薄膜为掺杂有p-DR1的C5-BTBT，所述电极金属为Au。