[发明专利]一种减压扩散炉炉口冷却密封装置有效
申请号: | 201510917395.6 | 申请日: | 2015-12-14 |
公开(公告)号: | CN105543976B | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 张宝锋;禹庆荣;苏卫中;刘良玉;杨彬 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | C30B31/06 | 分类号: | C30B31/06 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 减压 扩散 炉炉口 冷却 密封 装置 | ||
1.一种减压扩散炉炉口冷却密封装置,所述减压扩散炉反应管(1)管口安装石英炉门(2),所述石英炉门(2)内端面装设密封圈(20),所述石英炉门(2)通过密封圈(20)与反应管(1)管口的安装法兰(10)内端面密封抵接,其特征在于:所述密封圈(20)的周边设有对密封圈(20)进行局部强制冷却的强冷装置,所述强冷装置包括对石英炉门(2)和安装法兰(10)外周圆、安装法兰(10)外端面进行局部强冷的气冷器组件(4),以及对石英炉门(2)外端面进行局部强冷的金属炉门组件,所述气冷器组件(4)和所述金属炉门组件喷出冷却气体完成局部强制冷却。
2.根据权利要求1所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述气冷器组件(4)套设于石英炉门(2)与安装法兰(10)的交接处,所述气冷器组件(4)包括喷淋口朝向石英炉门(2)和安装法兰(10)外周圆的外气室(41),以及喷淋口朝向安装法兰(10)外端面的内气室(42)。
3.根据权利要求2所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述外气室(41)沿轴向设于内气室(42)的上方,所述外气室(41)、内气室(42)均包括一环形冷却通道(7),若干所述喷淋口均匀布置于环形冷却通道(7)的内壁,所述冷却通道(7)的空腔内设有一隔片(70),所述隔片(70)的两侧分别装设进气口。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述金属炉门组件包括固装于石英炉门(2)前方的金属炉门(8),所述金属炉门(8)内设有环形冷却腔(9),所述环形冷却腔(9)内均布若干朝向石英炉门(2)外端面的喷淋口。
5.根据权利要求4所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述金属炉门(8)朝向石英炉门(2)的一端设置一斜面(80),所述环形冷却腔(9)的若干喷淋口均布于斜面(80)上。
6.根据权利要求5所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述环形冷却腔(9)内设有隔板(90),所述隔板(90)的两侧分别装设进气口,所述强冷装置外侧远离环形冷却通道(7)进气口、环形冷却腔(9)进气口安装排气收集设备(11)。
7.根据权利要求4所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述金属炉门组件还包括填充于金属炉门(8)与石英炉门(2)之间的保温垫(12),所述石英炉门(2)上凸设石英柱,所述金属炉门(8)穿过石英柱并抵靠于保温垫(12)上,且通过固定环锁紧。
8.根据权利要求7所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述内气室(42)与反应管(1)的外周圆之间套设保温环(13),所述保温环(13)、保温垫(12)均为石棉纤维、碳纤维或氧化铝组分中的一种或多种保温耐热材料制备而成。
9.根据权利要求7或8所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置,其特征在于:所述石英炉门(2)沿轴向间隔设置多层隔热板(14),相邻隔热板(14)之间通过支撑杆(15)连接。
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