[发明专利]一种超精密阀套内孔的加工方法

权利要求书

1.一种超精密阀套内孔的加工方法，其特征在于，进行了以下加工工艺步骤：

步骤一、珩磨预孔制作；在阀套轴向中心位置钻珩磨预孔，符合以下要求：

(1)为珩磨工序留有0.1-0.13mm的全值余量；

(2)孔的直线度≤6μm；

(3)加工设备：深孔钻床；

步骤二、真空淬火处理；对阀套进行真空淬火处理以提高材料硬度，淬火处理需符合以 下要求：

(1)设备：真空淬火炉；

步骤三、粗珩内孔；在卧式珩磨机上对阀套内孔进行粗珩加工，为后续工序留有0.02- 0.04mm的全值珩磨余量,粗珩后内孔形状精度须达到：圆柱度≤1.5μm；

步骤四、半精珩内孔；在立式珩磨机上对阀套内孔进行半精珩加工；为后续工序留有 0.01-0.02mm的全值珩磨余量,半精珩后内孔形状精度须达到：圆柱度≤1μm；

步骤五、人工时效处理；对阀套进行人工时效处理以消除珩磨产生的应力，人工时效需 符合以下要求：

(1)设备：真空淬火炉,

(2)温度：140±10C°,

(3)保温时间：6-8h；

步骤六、精珩内孔；在立式珩磨机上对阀套内孔进行精珩加工，达到零件内孔最终尺寸 和全部技术要求：圆柱度0.4-0.75μm，表面粗糙度为Ra0.08μm。

2.根据权利要求1所述的的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述粗珩、半 精珩、精珩工序的油石由立方氮化硼制成，且是超级锋利型。

3.根据权利要求1所述的的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述粗珩工序 的主轴转速在900-1300rpm之间，冲程长度在10-80mm之间，冲程速度在60-160spm之间，珩 磨压力在15-25N之间。

4.根据权利要求1所述的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述半精珩工序 的主轴转速在1100-1500rpm之间，冲程长度在10-80mm之间，冲程速度在50-150spm之间，珩 磨压力在3-10N之间。

5.根据权利要求1所述的的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述精珩工序 的主轴转速在1200-1600rpm之间，冲程长度在10-80mm之间，冲程速度在20-120spm之间,珩 磨压力在3-7N之间。

6.根据权利要求1所述的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述珩磨加工过 程需采用浮动式夹具。

7.根据权利要求1所述的的一种超精密阀套内孔加工方法，其特征在于，所述半精珩工 序、精珩工序在珩磨前采用了高精度对中套[1]对阀套进行找正；所述对中套[1]的工作面 有内孔表面[11]和外圆表面[12]。