[发明专利]多线切割设备晶向调整机构

说明书

技术领域

本发明涉及多线切割设备领域，尤其涉及多线切割设备晶向调整机构。

背景技术

目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶锭加工技术，其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对晶片等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。

多线切割在进行晶锭加工过程中，有些材料的晶锭需要按特定的晶向切割，这需要调整工件的切割晶向。传统的晶向调整机构存在一些问题，如结构复杂、调节精度低、刚性差等。

为保证晶锭切割质量，亟需一种结构简单、调整精度高、刚度好的晶向调整机构。

发明内容

本发明的目的是针对上述技术问题，提供结构简单、调整精度高、刚度好的晶向调整机构，通过螺纹传动和杠杆联动，实现俯仰角度调节；通过螺纹传动和齿轮齿条啮合，实现水平角度调节；两个方向调节相互独立，互不干涉，提高了调整机构的稳定性及调整精度，保证晶锭加工质量。

本发明的技术方案：

为解决上述技术问题，本发明提供多线切割设备晶向调整机构，包括上板，下板，设置在上板与下板之间的俯仰调整装置，固定在上板下部的大齿轮，与大齿轮配合的水平调整装置，连接在上板与下板之间的拉伸弹簧。

其中，大齿轮通过上转轴、压盖与上板铰接；大齿轮的下表面两侧设置有平行的大齿轮凸台，下板的上表面两侧设置有平行的下板凸台，大齿轮凸台与下板凸台通过下转轴铰接；俯仰调整装置上的传动板嵌入下板前端的长槽内，水平调整装置上的传动齿条与大齿轮啮合。

进一步地，所述的俯仰调整装置还包括传动螺母、锁母、下螺杆及小转轴；传动螺母安装在上板前端设置的弧形槽内，传动螺母的外螺纹与锁母螺纹连接，其内螺纹与下螺杆上端的螺纹连接；下螺杆的下端通过小转轴与传动块铰接；上板、传动螺母、下螺杆、小转轴、传动块及下板形成杠杆，实现上板与下板联动。

进一步地，所述的水平调整装置还包括支撑座、上螺杆，上螺杆固定在与支撑座螺纹连接上；传动齿条右端的一端开有与上螺杆螺纹连接的通孔，其左端另一端的是齿条与大齿轮啮合的齿条；传动齿条的上端上侧面设置有齿条凸起，齿条凸起限位在与上板上的滑动槽滑动连接内，齿条凸起可以限制传动齿条的调节范围。

进一步地，所述的上转轴的下端通过螺钉固定在大齿轮中央，其上端与压盖通过螺钉固定。

进一步地，所述的上板的中央设置有阶梯孔，压盖嵌入上板的阶梯孔内。

进一步地，所述的大齿轮下表面两侧的大齿轮凸台与下板上表面两侧的下板凸台的对应位置设置有下板紧固孔；所述的大齿轮上端面与上板的对应位置设置有上板紧固孔；下板紧固孔用于下板的锁紧，上板紧固孔用于上板的锁紧。

进一步地，所述的锁母紧贴上板下部，其环向设置有顶丝，以限制锁母的轴向位移；所述的传动螺母的下端为外六方形，人员调整操作方便。

进一步地，所述的上螺杆的前端为外六方形，人员调整操作方便。

上述多线切割设备晶向调整机构使用方法，包括以下步骤：

S1，转动传动螺母，下螺杆上、下伸缩，传动块在下板的前端的长槽内前、后移动，下板以下转轴为中心俯仰转动α度；

S2，调整至合理的俯仰角度后，使用螺钉将下板紧固孔锁紧；

S3，转动上螺杆，传动齿条在上螺杆的旋转带动下前、后移动，传动齿条带动大齿轮旋转，大齿轮带动下方的俯仰调整装置及下板一起水平转动β度；

S4，调整至合理的水平角度后，使用螺钉将上板紧固孔锁紧。

进一步地，所述的俯仰转动α、水平转动β的调节范围是±10o。

本发明有益效果：

本发明提供的多线切割设备晶向调整机构应用于晶锭加工技术领域，通过螺纹传动和杠杆联动，实现俯仰角度调节；通过螺纹传动和齿轮齿条啮合，实现水平角度调节；两个方向调节相互独立，互不干涉，提高了调整机构的稳定性及调整精度，保证晶锭加工质量。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1通过下螺杆的剖视图；

图3是本发明的左视半剖面图；

图4是本发明的仰视图；

图5是本发明之传动块结构示意图；

图6是本发明之传动块与下板装配关系示意图；

图7是图1通过下转轴的剖视图。

其中：