[发明专利]曝光机及光罩洁净设备

权利要求书

1.一种光罩洁净设备，其特征在于，所述光罩洁净设备设置在 曝光机内，用于对曝光机内的光罩进行清洁，所述光罩洁净设备包括：

箱体，设有快门；

移动台，设于所述箱体内，用于从所述快门处接收光罩并在所述 箱体内移动；

离子气枪，设于所述箱体内，用于吹出离子风以清除所述光罩上 的杂尘；

紫外线灯管，设于所述箱体内，用于发出紫外线以分解所述光罩 上的有机物。

2.根据权利要求1所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述箱 体由上板、下板和侧板围合而成，所述快门设置在所述侧板上。

3.根据权利要求2所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述移 动台包括导轨和设于所述导轨上的支撑台，所述支撑台在所述导轨上 往复移动。

4.根据权利要求3所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述支 撑台包括竖架和支撑板，所述竖架设于所述导轨上，所述支撑板设于 所述竖架的顶部。

5.根据权利要求4所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述支 撑台进一步包括设于所述竖架之间且位于所述支撑台下方的横架。

6.根据权利要求6所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述支 撑台上设有支撑销，所述支撑销用于将所述光罩夹持固定并间隔支撑 在所述支撑台的上方。

7.根据权利要求6所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述离 子气枪包括在所述移动台移动方向上前后设置的多个。

8.根据权利要求7所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述离 子气枪包括在所述移动台移动方向上前后设置的两个，所述紫外线灯 管设置在所述离子气枪之间，所述移动台从所述快门处接收所述光罩 并在所述箱体内移动时，所述光罩先移动至第一离子风枪处，所述第 一离子风枪开始清洁大的杂尘，然后移动经过所述紫外线灯管，由所 述紫外线灯管照射分解所述光罩上的有机物，再通过第二离子风枪清 洁所述光罩表面，除去表面附着物。

9.根据权利要求8所述的光罩洁净设备，其特征在于，所述光 罩洁净设备还包括设于所述箱体的吸风机以提供负压，以及设于所述 箱体内壁的排气过滤层以吸附收集从所述光罩表面清洁出的杂尘。

10.一种曝光机，其特征在于，用于通过光罩进行曝光作业，所 述曝光机内设有机械传送手及权利要求1-9中任一项所述的光罩洁净 设备，所述光罩由所述机械传送手经所述快门送至所述移动台。