[发明专利]一种镜头夹持装置

说明书

本发明提供了一种镜头夹持装置，包括：底座；第一滑座；第一驱动机构，与第一滑座驱动连接，第一驱动机构驱动第一滑座沿第一方向运动；第二滑座，沿水平的第二方向滑动设置于第一滑座上；第二驱动机构，与第二滑座驱动连接，第二驱动机构驱动第二滑座沿第二方向运动；竖向弹簧座，竖立固定于第二滑座上；第三滑座，沿竖直方向滑动设置于竖向弹簧座上；第三驱动机构，与第三滑座驱动连接，第三驱动机构驱动第三滑座沿竖直方向运动；夹持机构，安装于第三滑座上，用于夹持镜头。本发明的镜头夹持装置，能够沿三个方向调节夹持的镜头，使得该装置能够满足不同尺寸的芯片的背部检测。另外，该装置降低了操作人员的调试工作，大大提高了检测的效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种镜头夹持装置。

背景技术

在芯片等半导体制造领域中，许多设备制造商对芯片上表面的要求很高，通过对芯片上表面的图像识别，进行芯片质量好坏的的区分。但是现有技术中，这一方式存在以下缺点：

1)当前道工序完成后，对芯片的背部是否损伤，无法检测。这将对芯片的后续加工与使用造成影响。

2)在生产过程中，芯片种类、大小不一，X、Y、Z方向的位置需频繁的调节。传统的镜头夹持机构只通过机械装配对准中心，位置固定。检测过程中，当识别镜头机构发生位置偏移后，检测镜头机构需要重新调整，但是相机和镜头在设备内部，空间狭小，很不方便调整，由此给调机工艺人员造成很大的障碍，严重影响工作效率。

3)在镜头夹持机构中，对相机尺寸要求固定，不方便不同种型号相机的装配和调整。

发明内容

为了克服现有技术中检测芯片的镜头夹持机构不能进行方向调节的技术问题，本发明提供了一种镜头夹持装置。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

本发明提供了一种镜头夹持装置，包括：

底座；

第一滑座，沿水平的第一方向滑动设置于所述底座上；

第一驱动机构，与所述第一滑座驱动连接，所述第一驱动机构驱动所述第一滑座沿第一方向运动；

第二滑座，沿水平的第二方向滑动设置于所述第一滑座上；

第二驱动机构，与所述第二滑座驱动连接，所述第二驱动机构驱动所述第二滑座沿第二方向运动；

竖向弹簧座，竖立固定于所述第二滑座上；

第三滑座，沿竖直方向滑动设置于所述竖向弹簧座上；

第三驱动机构，与所述第三滑座驱动连接，所述第三驱动机构驱动所述第三滑座沿竖直方向运动；

夹持机构，安装于所述第三滑座上，用于夹持镜头。

进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第一驱动机构包括：

第一调节轮；

第一加长杆，沿所述第一方向设置，一端与所述第一调节轮连接；

第一调节丝杠，通过一第一连接套与所述第一加长杆轴向连接；

第一调节支座，固定于所述底座上；

所述第一调节丝杠穿过所述第一调节支座与所述第一滑座沿第一方向的一侧抵接。

进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第二驱动机构包括：

第二方向手持调节机构和第一变向机构，所述第二方向手持调节机构沿第一方向推动所述第一变向机构，所述第一变向机构向沿第二方向推动所述第二滑座；

所述第一变向机构包括：