[发明专利]一种太赫兹激光功率计的校准方法

权利要求书

1.一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤一：把热电堆探测器与太赫兹激光功率计分离，将可调式直流稳压电源接入太赫兹激光功率计的信号输入端，使用可调式直流稳压电源代替热电堆探测器，为太赫兹激光功率计提供稳定的可调谐输入电压信号，记录太赫兹激光功率计的输入电压以及对应的示值电压；

步骤二：计算可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压与太赫兹激光功率计示值电压之间的线性关系；

步骤三：测试热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度；

步骤四：把热电堆探测器接入太赫兹激光功率计，根据步骤二中太赫兹激光功率计的输入电压与示值电压之间的线性关系，以及步骤三中热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度，计算太赫兹激光功率计测量的示值电压对应的功率值；

所述步骤二中，使用最小二乘法计算可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压与太赫兹激光功率计示值电压之间的线性关系：

V_入＝a·V_示+b(1)

式中，V_入、V_示分别是可调式直流稳压电源提供给太赫兹激光功率计的输入电压和太赫兹激光功率计的示值电压，a和b是拟合系数；

所述步骤三中，测试热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度的具体过程为：

测试热电堆探测器的吸收材料在太赫兹波段的反射率R(λ)，测量不确定度是0.5％，置信因子k取1，则它的标准不确定度是0.5％；

测试热电堆探测器的吸收材料在可见或近红外波长点的反射率R₀，测量不确定度是0.3％，置信因子k取2，则它的标准不确定度是0.15％；

测试热电堆探测器在可见或近红外波长点的绝对响应度S₀，测量不确定度是0.05％，置信因子k取2，则它的标准不确定度是0.025％。

2.如权利要求1所述的一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，所述的可见、近红外波长点是指488nm、514nm、632.8nm、785nm、852nm、980nm、1064nm中的一个。

3.如权利要求1所述的一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，使用可见或近红外激光器测试热电堆探测器在该波长点的绝对响应度S₀，通过稳功仪控制激光器的输出功率稳定性小于或等于万分之一。

4.如权利要求1所述的一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，根据热电堆探测器在不同波长处的热电转换率相等的原则，计算热电堆探测器在太赫兹波段的绝对光谱响应度S(λ)：

$S\left(\mathrm{\λ}\right)=S_0\frac{1-R\left(\mathrm{\λ}\right)}{1-R_0}---\left(2\right).$

5.如权利要求4所述的一种太赫兹激光功率计的校准方法，其特征是，所述步骤四中，设定太赫兹激光器的输出功率，使太赫兹激光垂直照射到热电堆探测器上，则使用太赫兹激光功率计测试的太赫兹激光功率P(λ)是：

使用公式(1)、公式(2)和公式(3)计算得到的太赫兹激光功率，它的测量重复性引入的标准不确定度约是0.006％。