[发明专利]石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失性存储器及方法有效
申请号: | 201510933514.7 | 申请日: | 2015-12-15 |
公开(公告)号: | CN105428364B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 尚恩明;胡少坚;陈寿面 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L51/00;G11C16/06 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;尹英 |
地址: | 201210 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 有机 薄膜 复合 结构 触发 非易失性存储器 方法 | ||
1.一种基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其外部连接有读出电路,其特征在于,包括:衬底,位于所述衬底上的栅极,位于所述栅极上的介质层,位于所述介质层上的石墨烯,位于所述石墨烯上的掺杂有机薄膜,位于所述掺杂有机薄膜两侧的源漏极;所述源漏极连接所述读出电路,所述栅极和所述源漏极连接有擦除电路,且所述栅极接地。
2.根据权利要求1所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述存储器进行写入数据的条件为:当所述存储器写入信息1时,所述栅极接地,紫外光入射到所述有机薄膜上,有机薄膜产生电子空穴对,电子被束缚在所述掺杂有机薄膜的杂质所产生的缺陷态中,而空穴经过隧穿到达所述石墨烯的价带中,此时所述信息1写入所述存储器中,当撤去所述紫外光时,所述信息1仍保留在所存入的所述存储器中;当所述存储器写入信息0时,所述栅极接地,无紫外光入射,此时,所述掺杂有机薄膜保持高电阻。
3.根据权利要求1所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述读出电路的读出数据条件为:在无紫外光照射时,所述栅极接地,所述源漏极所连接的所述读出电路上所施加的偏置电压为负偏置电压。
4.根据权利要求1所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述擦除电路进行擦除的条件为:所述栅极上施加脉冲电压,所述有机薄膜中杂质所束缚的电子与所述石墨烯的价带中的空穴进行复合,所述存储器回到初始状态,可再次写入数据和读出数据。
5.根据权利要求1所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述掺杂有机薄膜只吸收紫外光,且所述掺杂有机薄膜中的杂质含量为4%~6%。
6.根据权利要求5所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述掺杂有机薄膜为C5-BTBT。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述衬底为柔性衬底,所述栅极为柔性导电层。
8.根据权利要求1-6任意一项所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器,其特征在于,所述石墨烯为单层或双层。
9.一种权利要求1所述的基于石墨烯和有机薄膜复合结构的光触发非易失存储器的制备方法,其特征在于,包括:
步骤01:提供一衬底,并且在所述衬底上形成栅极;
步骤02:在所述栅极上形成所述介质层;
步骤03:将石墨烯转移到所述介质层上,并且,利用光学显微镜找到所述石墨烯,利用拉曼光谱确定所述所述石墨烯的层数和均匀度;
步骤04:在所述石墨烯上旋涂所述掺杂有机薄膜,并且将所述掺杂有机薄膜在真空中干燥;
步骤05:在所述掺杂有机薄膜两侧沉积金属,从而形成所述源漏极。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述步骤04中,旋涂所述有机薄膜时采用的转速为2000~3000rmp,旋涂时间为60~120s,并且在真空中干燥的时间为20~40min。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的