[发明专利]一种钼铌合金溅射靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将钼粉和铌粉置于混料机的混料罐中，将所述混料罐密封后抽真空，然后在氩气保护条件下将所述钼粉和铌粉搅拌混合均匀，得到混合粉末；所述钼粉与铌粉的质量比为(9～19)：1；

步骤二、对步骤一中所述混合粉末进行冷等静压，得到板坯，然后将所述板坯在真空或者氢气气氛保护条件下进行预烧结处理，得到钼铌合金预制坯料；所述冷等静压的压力为100MPa～200MPa，保压时间为5min～10min，所述预烧结处理的具体过程为：在升温速率为2.5℃/min～4℃/min的条件下升温至800℃～1000℃保温60min～120min，然后在升温速率为1℃/min～2.5℃/min的条件下升温至1200℃～1500℃保温120min～180min，接着在升温速率为1℃/min～2.5℃/min的条件下升温至1600℃～1700℃保温120min～180min；

步骤三、将步骤二中所述钼铌合金预制坯料车铣加工至其表面粗糙度为1.0μm～3.0μm，然后对车铣加工后的钼铌合金预制坯料进行热等静压，得到钼铌合金制件；所述热等静压的压力为100MPa～200MPa，温度为1200℃～1500℃，保温保压时间为1h～5h；

步骤四、对步骤三中所述钼铌合金制件进行机械加工和表面磨削加工，得到钼铌合金溅射靶材。

2.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中抽真空至所述混料罐的真空度为10^-1Pa～10^-2Pa。

3.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述混料罐内设置有内衬，所述内衬的材质为钼材。

4.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述混料机的转速为100r/min～150r/min，所述搅拌混合的时间为4h～8h。

5.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述钼粉的质量纯度不低于99.9％，钼粉中钾的质量含量小于20ppm，铁的质量含量小于20ppm，碳的质量含量小于20ppm，氧的质量含量小于500ppm。

6.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述钼粉的平均费氏粒度为3.2μm～5.0μm，所述铌粉的平均费氏粒度为5.0μm～7.0μm。

7.按照权利要求1所述的一种钼铌合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述铌粉的质量纯度不低于99.9％。