[发明专利]冷阱及冷阱的控制方法

权利要求书

1.一种冷阱，其用于对具有主真空泵的真空容器进行排气，该冷阱的特征在于，具备：

冷板，配置于将所述真空容器连接于所述主真空泵的排气导管内部，或者配置于所述真空容器内部；

单级制冷机，具备结构上与所述冷板连接从而与所述冷板热连接的制冷机冷却台；

冷却台温度控制部，确定对所述单级制冷机的控制输入，以使所述制冷机冷却台冷却至目标温度；

热输入推断部，从通过所述冷却台温度控制部确定的对所述单级制冷机的控制输入推断出向所述冷板的热输入增加；以及

目标温度调整部，根据所述热输入推断部所推断出的热输入増加，降低所述目标温度，

对所述单级制冷机的控制输入为制冷机的运行频率或加热器的输出。

2.根据权利要求1所述的冷阱，其特征在于，

所述冷阱还具备存储部，该存储部存储第1目标冷却台温度、比所述第1目标冷却台温度低的第2目标冷却台温度、与冷板上限温度相对应的控制输入阈值，

所述第1目标冷却台温度预先设定为所述冷板接收第1热输入时使所述冷板被冷却至比所述冷板上限温度低的第1板温度，

所述第2目标冷却台温度预先设定为所述冷板接收比所述第1热输入大的第2热输入时使所述冷板被冷却至比所述冷板上限温度低的第2板温度，

根据通过所述目标温度调整部选择了所述第1目标冷却台温度的情况下所述冷板接收所述第2热输入时产生的所述控制输入与冷板温度的相互关联来预先设定所述控制输入阈值，

在选择了所述第1目标冷却台温度的情况下，若所述控制输入与所述控制输入阈值的大小关系逆转，则所述热输入推断部推断出向所述冷板的热输入增加即从所述第1热输入增加到所述第2热输入，

在推断为所述热输入増加的情况下，所述目标温度调整部选择所述第2目标冷却台温度。

3.根据权利要求2所述的冷阱，其特征在于，

所述单级制冷机具备：冷却台温度传感器，测定所述制冷机冷却台的温度；以及制冷机马达，驱动所述单级制冷机，

所述冷却台温度控制部具备：制冷机频率确定部，确定作为所述冷却台温度传感器所测定的所述制冷机冷却台的温度与所述目标温度之间的偏差的函数的所述单级制冷机的运行频率；以及制冷机变频器，将所述制冷机马达控制在所述运行频率，

所述控制输入阈值为，根据在选择了所述第1目标冷却台温度的情况下所述冷板接收所述第2热输入时产生的所述运行频率与所述冷板温度的相互关联而预先设定的运行频率阈值，

所述热输入推断部判定所述运行频率是否大于所述运行频率阈值，

当所述运行频率大于所述运行频率阈值时，所述目标温度调整部选择所述第2目标冷却台温度。

4.根据权利要求2所述的冷阱，其特征在于，

所述单级制冷机具备：冷却台温度传感器，测定所述制冷机冷却台的温度；以及加热器，安装在所述制冷机冷却台，

所述冷却台温度控制部确定作为所述冷却台温度传感器所测定的所述制冷机冷却台的温度与所述目标温度之间的偏差的函数的所述加热器的输出，

所述控制输入阈值为，根据在选择了所述第1目标冷却台温度的情况下所述冷板接收所述第2热输入时产生的所述加热器的输出与所述冷板温度的相互关联而预先设定的加热器输出阈值，

所述热输入推断部判定所述加热器的输出是否小于所述加热器输出阈值，

当所述加热器的输出小于所述加热器输出阈值时，所述目标温度调整部选择所述第2目标冷却台温度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的冷阱，其特征在于，

所述冷板具备：第1板部分，配置在所述排气导管内部；以及第2板部分，从所述第1板部分延伸且配置于所述真空容器内部，

所述第1板部分直接固定于所述制冷机冷却台，或者经由传热部件固定于所述制冷机冷却台，

所述第2板部分经由所述第1板部分与所述制冷机冷却台热连接。

6.一种冷阱的控制方法，其为用于对具有主真空泵的真空容器进行排气的冷阱的控制方法，其特征在于，

所述冷阱具备：冷板，配置于将所述真空容器连接于所述主真空泵的排气导管内部，或者配置于所述真空容器内部；以及单级制冷机，具备结构上与所述冷板连接从而与所述冷板热连接的制冷机冷却台；

所述方法具备如下步骤：

确定对所述单级制冷机的控制输入，以使所述制冷机冷却台冷却至目标温度；

从所确定的对所述单级制冷机的控制输入推断出向所述冷板的热输入增加；以及

根据所推断出的热输入増加，降低所述目标温度，

对所述单级制冷机的控制输入为制冷机的运行频率或加热器的输出。