[发明专利]大尺寸龙骨式无扰性遮光罩在审
申请号: | 201510939653.0 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN105606142A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 杨利伟;董得义;徐宏;樊延超;庞新源 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 李青 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 尺寸 龙骨 式无扰性 遮光 | ||
1.大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,该遮光罩包括:前遮光罩、 侧蒙皮、龙骨和柔性支座;所述前遮光罩安装在龙骨的上表面;所述侧蒙皮 安装在龙骨的侧表面;所述柔性支座安装在龙骨四角的底端。
2.根据权利要求1所述的大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,所 述前遮光罩包括:前遮光罩蒙皮、前遮光罩光阑和前遮光罩法兰;所述前遮 光罩蒙皮安装多个平行的前遮光罩光阑,固定在前遮光罩法兰上,通过前遮 光罩法兰固定在龙骨的上表面。
3.根据权利要求1所述的大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,所 述侧蒙皮包括:蒙皮基板、光阑和加强筋;所述蒙皮基板安装多个平行的光 阑,每两个光阑间都安装多个与光阑垂直的加强筋。
4.根据权利要求1所述的大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,所 述龙骨为方管和角连接组成的六面体。
5.根据权利要求4所述的大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,所 述龙骨上设有托板螺母。
6.根据权利要求4所述的大尺寸龙骨式无扰性遮光罩,其特征在于,所 述柔性支座上设有纵向卸载槽。
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