[发明专利]一种用于三维MCM的隔板及其制作方法

权利要求书

1.一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）采用多层LTCC生瓷带制作，根据MCM的尺寸制作单边隔板；

（2）将制作的多个单边隔板拼接成用于连接上下MCM的一环形结构的整体隔板；

其中，步骤（1）所述的单边隔板

通过包括整版隔板打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切、烧结的工序制作而成；

或者通过包括整版隔板打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、烧结、熟切的工序制作而成。

2.根据权利要求1所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，步骤（2）所述拼接过程为将粘结浆料涂覆在单边隔板拼接处，通过烘干或烘干后烧结的方式使拼接材料固化。

3.根据权利要求2所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，所述粘结浆料为

玻璃材料或介质材料研磨成粉状，加入15~35 wt%的有机粘合剂，混匀研磨调制而成；

或者为有粘结作用的有机材料调制而成；

或者为商品化FHG系列玻璃浆料或DB系列玻璃浆料。

4.根据权利要求3所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，

所述介质材料为玻璃材料与无机添加剂的混合粉料或者为LTCC生瓷带材料；

所述有机粘合剂为稀释剂或者为稀释剂与改善剂的混合物。

5.根据权利要求3或4所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，所述玻璃材料为磷酸盐玻璃粉料或硼磷酸盐玻璃粉料。

6.根据权利要求5所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，所述玻璃材料为磷酸锌玻璃粉料或硼磷酸锌玻璃粉料。

7.根据权利要求4所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，

所述无机添加剂为Al₂O₃、SiO₂、MnO₂中的任意一种或两种以上的组合；

所述稀释剂为松节油、松油醇、丙醇、丁基卡必醇醋酸酯中的任意一种或两种以上的组合；

所述改善剂为聚乙烯醇、乙基纤维素、乙酸丁酸纤维素、硝酸纤维素中的任意一种或两种以上的组合。

8.根据权利要求2所述的一种用于三维MCM的隔板的制作方法，其特征在于，

所述浆料涂覆厚度为0.1~0.3 mm；

所述烘干温度为130~200℃，时间为8~10 min；

所述烧结温度在使用介质浆料时为700~850℃；在使用玻璃浆料时为高于玻璃软化点100~200℃。