[发明专利]一种微孔填充设备

权利要求书

1.一种微孔填充设备，其特征在于，包括：

设备座；

设于所述设备座上的第一腔体，所述第一腔体上部开口；

设于所述第一腔体上方的盖体；

设于所述设备座上的升降装置，所述升降装置与所述盖体连接，用于带动所述盖体下降或上升，使所述盖体盖住或脱离所述第一腔体；当所述盖体盖住所述第一腔体时，所述盖体与所述第一腔体构成第一密封腔；

设于所述第一腔体内的用于容置液态金属的液态金属槽；所述液态金属槽上部开口，所述液态金属槽底部设有第二密封腔；所述第二密封腔贯穿所述液态金属槽底部，并伸入所述液态金属中，用于将所述第二密封腔内的气压传递至所述液态金属表面；

设于所述盖体下表面的托具架，用于承载托具；所述托具用于承载微孔填充组件；当所述盖体盖住所述第一腔体形成第一密封腔时，所述微孔填充组件下表面紧贴所述液态金属槽上表面；

所述第一腔体上设有用于调节所述第一密封腔内气压的第一气体进出孔，所述第二密封腔上设有用于调节所述第二密封腔内气压的第二气体进出孔。

2.根据权利要求1所述的微孔填充设备，其特征在于：所述微孔填充设备还包括设于所述设备座上的隔绝外罩，所述隔绝外罩罩住所述第一腔体、盖体及升降装置，用于隔绝空气；所述隔绝外罩上设有第一托具进出窗口及用于置换空气的第三气体进出口。

3.根据权利要求2所述的微孔填充设备，其特征在于：所述隔绝外罩上设有至少两个手套操作接口。

4.根据权利要求2所述的微孔填充设备，其特征在于：所述隔绝外罩与一预热箱连接，其中，所述预热箱与所述隔绝外罩共用部分侧壁，且所述第一托具窗口位于共用的侧壁上；所述预热箱另一侧壁上还设有第二托具进出窗口。

5.根据权利要求4所述的微孔填充设备，其特征在于：所述预热箱中设有一托具传送装置，用于将预热完毕的托具通过所述第一托具窗口传送至所述托具架上。

6.根据权利要求2所述的微孔填充设备，其特征在于：所述隔绝外罩内连接有一用于观察微孔填充状态的显微镜。

7.根据权利要求6所述的微孔填充设备，其特征在于：所述隔绝外罩内设有导轨，所述显微镜与所述导轨连接，并在驱动装置的作用下沿所述导轨移动；所述导轨通过设于所述隔绝外罩内顶部或内侧壁的支架支撑，或者通过设于底座上的支架支撑。

8.根据权利要求6所述的微孔填充设备，其特征在于：所述显微镜与一影像显示设备连接。

9.根据权利要求1所述的微孔填充设备，其特征在于：所述盖体上设有至少一个透明观察窗口。

10.根据权利要求1所述的微孔填充设备，其特征在于：所述盖体下方设有一用于将所述填充组件压紧的压盖；所述压盖通过弹性装置与所述盖体连接。

11.根据权利要求10所述的微孔填充设备，其特征在于：所述压盖为透明压盖。

12.根据权利要求10所述的微孔填充设备，其特征在于：所述盖体中部设有一开口；所述弹性装置为第一波纹管；所述第一波纹管下端通过第一法兰与所述压盖密封连接、上端通过第二法兰与所述开口边沿密封连接。

13.根据权利要求12所述的微孔填充设备，其特征在于：所述第二法兰上还叠加有第三法兰；所述第三法兰中设有至少三个螺丝孔，所述螺丝孔中设有用于顶住所述压盖、以使所述压盖紧压所述填充组件的压紧螺丝。

14.根据权利要求12所述的微孔填充设备，其特征在于：所述第二法兰上还叠加有密封盖；所述密封盖、第一波纹管及压块组成第三密封腔；所述密封盖上设有用于调节所述第三密封腔内气压的第四气体进出口。