[发明专利]感光性树脂组合物、由它们形成的光固化图案和使用了其的图像显示装置

说明书

本发明涉及感光性树脂组合物。本发明涉及感光性树脂组合物，其通过包含：包含具有由化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)，能够形成T/B比值提高、密合性优异的图案。

技术领域

本发明涉及具有感光性树脂组合物、由其形成的光固化图案、以及具有其的图像显示装置，更详细地说，涉及可以进行有效的CD-Bias控制、能够形成图案T/B比值及密合性优异的图案的感光性树脂组合物、由其形成的光固化图案、及具有其的图像显示装置。

背景技术

在显示器领域中，为了形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑底、柱状间隔物等的各种光固化图案，使用感光性树脂组合物。具体地，将感光性树脂组合物通过光刻工序选择性地曝光及显影，形成所期望的光固化图案，该过程中，为了提高工序上的收率，提高应用对象的物性，要求具有高感光度的感光性树脂组合物。

感光性树脂组合物的图案形成，通过光刻法、即由光反应引起的高分子的极性变化及交联反应而进行。特别地，利用曝光后对于碱水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。

采用感光性树脂组合物的图案形成，根据感光了的部分对于显影的溶解度，分类为正型和负型。正型光致抗蚀剂是通过曝光了的部分被显影液溶解，负型光致抗蚀剂是通过曝光了的部分在显影液中不溶解，将未曝光的部分溶解，从而形成图案的方式，所谓正型和负型，因使用的粘结剂树脂、交联剂等而彼此不同。

对于以往的感光性树脂组合物，存在如下问题：在热工序前后发生厚度的变化，微细图案的形成困难，显影性不充分。

近年来，为了解决这样的问题，在日本特开2000-095896号公报中公开了在感光性树脂组合物中添加无机粉末的方法，但由于感光性树脂组合物与无机粉末的相容性的降低及与基板的粘接性等招致的显影性降低的问题，存在不能使无机粉末的含量足够高的问题，因此，存在不能充分地解决前述的感光性树脂组合物的问题的界限。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-095896号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于使图案的T/B比值提高、能够进行微细图案形成和CD-Bias的控制的感光性树脂组合物。

此外，本发明的目的在于提供改善对于基板的密合性、显影性优异的感光性树脂组合物。

此外，本发明的目的在于提供图案的机械物性优异的感光性树脂组合物。

此外，本发明的目的在于提供由上述感光性树脂组合物形成的光固化图案。

用于解决课题的手段

1.感光性树脂组合物，其包含：包含具有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由下述化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)。

【化1】

[式中，R₁为氢或甲基，R₂为氢或碳数1～6的烷基。]

【化2】

[式中，R₃为氢或甲基。]

【化3】