[发明专利]PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法

权利要求书

1.一种PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法，其特征是：对单晶硅片进行常规的制绒、扩散、刻蚀槽去除边缘与背面的PN结、正面PECVD镀氮化硅膜工序后，利用带式传动方式刻蚀去除背表面及边缘绕镀氮化硅，然后经过碱槽进行背表面抛光处理；再通过原子层沉积背面镀氧化铝薄膜后，进行常规的激光开槽、丝网印刷正背面金属浆料、烧结工序，制得PERC电池片。

2.根据权利要求1所述的PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法，其特征是：在利用带式传动方式刻蚀去除背表面及边缘绕镀氮化硅的过程中，带速为1.8－2.3m/min，配液体积比为HNO3：HF＝10:1－4:1，刻蚀去除背表面及边缘绕镀氮化硅。