[发明专利]水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器在审
| 申请号： | 201510946391.0 | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105405986A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张玉春;王平;阮国宇 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水汽 阻隔 制备 方法 包含 显示器 | ||
1.一种水汽阻隔膜，包括衬底(10)与设置在所述衬底(10)表面的水汽阻隔层(20)，其特征在于，所述水汽阻隔层(20)包括硅氧化物与铝氧化物，且所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，所述水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。
2.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比为1：1，所述水汽阻隔层(20)的厚度在20～40nm之间。
3.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比为7:3，所述水汽阻隔层(20)的厚度在180～200nm之间。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物为二氧化硅。
5.根据权利要求4所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述铝氧化物为氧化铝。
6.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述衬底(10)的厚度在25～125μm之间。
7.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述衬底(10)为PET衬底。
8.一种权利要求1至7中任一项所述的水汽阻隔膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括采用磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将硅氧化物与铝氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。
9.一种显示器，包括水汽阻隔膜，其特征在于，所述水汽阻隔膜为权利要求1至7中任一项所述的水汽阻隔膜。
10.根据权利要求9所述的显示器，其特征在于，所述显示器为OLED显示器。
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