[发明专利]静电保护电路在审
申请号: | 201510947252.X | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN105405843A | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
发明(设计)人: | 田文博;尹航;王钊 | 申请(专利权)人: | 无锡中感微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电 保护 电路 | ||
1.一种静电保护电路,其特征在于,其包括:
NMOS晶体管,其源极和栅极连接至第一连接端,其漏极连接至第二连接端;
PMOS晶体管,其源极和栅极连接至第二连接端,其衬体端与其源极相连,其漏极与所述NMOS晶体管的衬体端相连。
2.根据权利要求1所述的静电保护电路,其特征在于:
所述NMOS晶体管包括:
衬底;
自衬底的上表面向下延伸而成的衬底接触区,其作为NMOS晶体管的衬体端;
自衬底的上表面向下延伸而成的第一有源区,其作为NMOS晶体管的漏极;
自衬底的上表面向下延伸而成的第二有源区,所述第一有源区与第二有源区相互间隔,第二有源区作为NMOS晶体管的源极;
形成于所述衬底的上表面之上的第一栅极,其中该第一栅极位于第一有源区和第二有源区之间并与第一有源区和第二有源区相邻;
所述PMOS晶体管包括:
形成于所述衬底中的阱区,第二有源区较第一有源区距离所述阱区更近;
自阱区的上表面向下延伸而成的阱接触区,其作为PMOS晶体管的衬体端;
自阱区的上表面向下延伸而成的第三有源区和第四有源区,其中第三有源区有部分位于阱区内,部分位于衬底中,第三有源区与第二有源区相邻且间隔,第四有源区较第三有源区距离第二有源区更远,第三有源区作为PMOS晶体管的漏极,第四有源区为PMOS晶体管的源极;
形成于所述衬底的上表面之上的第二栅极,其中该第二栅极位于第三有源区和第四有源区之间并与第三有源区和第四有源区相邻。
3.根据权利要求2所述的静电保护电路,其特征在于:
衬底、衬底接触区、第三有源区、第四有源区为P型掺杂,
阱区、第一有源区、第二有源区、阱接触区为N型掺杂。
4.根据权利要求2所述的静电保护电路,其特征在于:
第四有源区、第二栅极、阱接触区、第一有源区通过接触孔和金属与第二连接端相连,衬底接触区、第二有源区通过接触孔和金属与第一连接端相连。
5.根据权利要求1所述的静电保护电路,其特征在于:其适合于PMOS晶体管的击穿漏源电压低于NMOS晶体管的击穿漏源电压的工艺。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的