[发明专利]一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置

权利要求书

1.一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，包括电机(2)、反应腔、行星架(13)、夹持器(6)和输气管路，其中，

所述电机(2)与所述行星架(13)相连，所述行星架(13)上安装有中心轮(8)和若干个行星轮(9)，所述中心轮(8)位于所述行星架(13)的中心线上，所述行星轮(9)与所述中心轮(8)啮合；所述电机(2)用于带动所述中心轮(8)和所述行星轮(9)旋转；

所述夹持器(6)位于所述反应腔内部，用于承载粉体；该夹持器(6)还与所述行星轮(9)相连，在所述行星轮(9)的带动下旋转；

所述输气管路用于向所述反应腔中输入反应气体或载气；

所述反应腔周围设置有加热装置，使得所述反应气体与所述粉体反应从而在所述粉体上沉积包覆原子层；该反应腔还与真空泵(7)相连，所述真空泵(7)用于对所述反应腔抽真空。

2.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述行星轮(9)与所述中心轮(8)两者的转速之比为1：2～2：1。

3.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述电机(2)的转速为1-200r/min。

4.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，向所述反应腔中输入的反应气体或载气的气流量为10sccm～5slm。

5.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述行星架(13)为中空结构，输入所述反应腔中的反应气体或载气从所述夹持器(6)的底部进入所述夹持器(6)。

6.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述夹持器(6)上下两端均被3000目的滤网封堵，用于防止所述粉体泄漏。

7.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述电机(2)与所述行星架(13)通过磁流体密封装置(3)相连。

8.如权利要求1所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述夹持器(6)与所述行星轮(9)之间通过磁流体密封装置(3)相连，所述行星轮(9)为中空结构。

9.如权利要求1-8任意一项所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，还包括提举机构(12)，该提举机构(12)与所述夹持器(6)相连，用于将所述夹持器(6)提举出所述反应腔。

10.如权利要求1-9任意一项所述基于行星流化的粉体原子层沉积装置，其特征在于，所述夹持器(6)的内表面与所述粉体之间的摩擦系数为1.6。