[发明专利]声波器件

说明书

一种声波器件包括：压电衬底；以及IDT，该IDT形成在所述压电衬底上，其中各向异性系数是正的，所述IDT的电极指彼此交叠所在的交叠区域包括中心区域和边缘区域，所述中心区域和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成，所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜，使得在所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距大于在所述中心区域中的所述电极指的宽度方向上的节距，并且所述中心区域中的所述宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述宽度方向与所述晶轴取向之间的角度。

技术领域

本发明的特定方面涉及声波器件。

背景技术

用于诸如智能电话和移动电话的移动通信的滤波器和双工器采用诸如包括形成在压电衬底上的叉指换能器(IDT)的表面声波器件的声波器件。包括IDT的声波器件有不期望的横向模式波的问题。日本专利申请公开No.7-22898(专利文献1)公开了使用切趾型IDT来减少不期望的横向模式波。日本专利申请公开No.2011-101350 (专利文献2)公开了使电极指在IDT的交叠区域的边缘区域中的宽度变得大于电极指在交叠区域的中心区域中的宽度以减少不期望的横向模式波。日本专利申请公开 No.2012-186808(专利文献3)公开了将介电膜或金属膜添加到边缘区域中的电极指以减少不期望的横向模式波。日本专利申请公开号2006-333024、9-162679和 2006-203778公开了将电极指在其中的延伸方向与电极指在交叠区域的剩余区域中的延伸方向不同的区域设置到IDT的交叠区域。

专利文献1所公开的技术增加虚设电极指的数量，从而导致差面积效率和成本的增加。专利文献2和专利文献3所公开的技术未充分地减少不期望的横向模式波，并且/或者由于诸如形成膜的步骤的附加制作步骤而增加成本。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种声波器件，该声波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器(IDT)，该IDT形成在所述压电衬底上，包括电极指并且激发声波，其中，各向异性系数是正的，所述IDT的所述电极指彼此交叠的交叠区域包括在所述电极指的延伸方向上位于所述交叠区域的中心的中心区域以及在所述延伸方向上位于所述交叠区域的边缘的边缘区域，所述中心区域中的所述电极指和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成，所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜，使得在所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距大于在所述中心区域中的所述电极指的宽度方向上的节距，并且所述中心区域中的所述电极指的所述宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述电极指的所述宽度方向与所述晶轴取向之间的角度。

根据本发明的另一方面，提供了一种声波器件，该声波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器(IDT)，该IDT形成在所述压电衬底上，包括电极指并且激发声波，其中，各向异性系数是负的，所述IDT的所述电极指彼此交叠的交叠区域包括在所述电极指的延伸方向上位于所述交叠区域中心的中心区域以及在所述延伸方向上位于所述中心区域的两侧的边缘区域，所述中心区域中的所述电极指和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成，所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜，使得在所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距小于在所述中心区域中的所述电极指的所述宽度方向上的节距，所述中心区域中的所述电极指的所述宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述电极指的所述宽度方向与所述晶轴取向之间的角度，并且位于所述中心区域的两侧的所述边缘区域中的所述电极指的所述宽度方向彼此平行。

附图说明

图1A是布置的电极指的平面图，图1B是波数的平面图，并且图1C是例示了速度倒数的图；

图2A和图2B是例示了用来减少不期望的横向模式波的IDT中的声速的图；

图3A是根据第一比较例的谐振器的平面图，并且图3B是电极指的放大图；