[发明专利]光学波前量测装置与方法

权利要求书

1.一种光学波前量测装置，用以检测一待测镜片，其特征在于，该光学波前量测装置包括：一光学空间调制器、一波前感应装置、一无穷物镜模组及一计算机，其中

该光学空间调制器，产生相异的多个通孔，使多个光线通过该多个通孔后，形成多个光型，

该无穷物镜模组，针对该多个光型调整该无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个光型通过该待测镜片与该无穷物镜模组，并形成近似平行光的该多个光型后，进入该波前感应装置，

该波前感应装置，依据该多个光型，撷取多个波前感应WS图像，其中该多个WS图像不具有光点重叠现象，

该计算机，依据一演算法拼接该多个WS图像，以求得一波前变化信息，并依据该波前变化信息重建一波前；

该无穷物镜模组包含一无穷物镜及一轴传动器，且

该多个光型依序通过该无穷物镜模组与该待测镜片，该多个光型通过该无穷物镜后形成多个聚集光点，并且该轴传动器调整该无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个聚集光点位于该待测镜片的焦距。

2.根据权利要求1所述的光学波前量测装置，其特征在于，该光学波前量测装置更包含一平行光源系统，用以产生该多个光线，其中该多个光线是平行光。

3.根据权利要求1所述的光学波前量测装置，其特征在于，

该无穷物镜模组包含一无穷物镜及一轴传动器，且

该多个光型依序通过该待测镜片与该无穷物镜模组，该多个光型通过该待测镜片后形成多个聚集光点，并且该轴传动器调整该无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个聚集光点位于该无穷物镜的焦距。

4.根据权利要求1所述的光学波前量测装置，其特征在于，该演算法为一相拼接演算法、一梯度拼接演算法或一最小平方拟合演算法。

5.根据权利要求1所述的光学波前量测装置，其特征在于，

该多个通孔包含同心的一圆形及一第一环形，且

该第一环形的通孔的内径不大于该圆形的通孔的孔径。

6.根据权利要求5所述的光学波前量测装置，其特征在于，

该多个通孔更包含一第二环形，其与该第一环形同心，且

该第二环形的通孔的内径不大于该第一环形的通孔的外径。

7.一种光学波前量测方法，用以检测一待测镜片，其特征在于，该光学波前量测方法包括：

利用一光学空间调制器，产生相异的多个通孔，使多个光线通过该多个通孔后，形成多个光型；

针对该多个光型调整一无穷物镜模组与该待测镜片的距离，使该多个光型通过该待测镜片与该无穷物镜模组，并形成近似平行光的该多个光型后，进入一波前感应装置；

利用该波前感应装置，依据该多个光型，撷取多个波前感应WS图像，其中该多个WS图像不具有光点重叠现象；及

利用一计算机，依据一演算法拼接该多个WS图像，以求得一波前变化信息，并依据该波前变化信息重建一波前；

该多个通孔包含同心的一圆形及一第一环形，

该利用一光学空间调制器，产生相异的多个通孔的步骤包含：

使该圆形的孔径，每次递增一预定值△r，直到第n次发现该圆形的通孔所对应的该WS图像产生光点重叠现象时，以第n-1次时的孔径作为该圆形的孔径，

使该第一环形的内径A₀不大于该圆形的孔径及

使该第一环形的外径，每次递增一预定值△r1，直到第i次发现该第一环形的通孔所对应的该WS图像产生光点重叠现象时，以第i-1次时的外径A_i-1作为该第一环形的外径A_i-1。