[发明专利]一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法

权利要求书

1.一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法，其特征是通过密布多晶硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅进行化学反应来刻蚀多晶硅片表面的方法。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征是将多晶硅片与混合酸溶液共处于一个密封腔室或分处于两个相互联通的密封腔室；混合酸溶液的体积配比为HNO₃:HF:H₂O=1:0.1-4:0.2-5；加热混合酸溶液至60-90℃，产生腐蚀性蒸气；控制多晶硅片温度，使其起始温度为40-80℃，刻蚀反应结束时温度处于30-70℃；刻蚀多晶硅片0.5-3分钟，之后立即将多晶硅片退出密封腔室，用质量浓度为1-4％的NaOH水溶液漂洗，再用纯水漂洗，烘干，即可在多晶硅片表面得所需绒面。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征是所述的HNO₃和HF为分别以不同含水量的硝酸和氢氟酸形式加入。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征是所述的多晶硅片为金刚石线锯切割或砂浆线锯切割。