[发明专利]一种转盘式晶圆自动分片装载机

权利要求书

1.一种转盘式晶圆自动分片装载机，其特征在于，包括主机平台、上料台、驱动机构、传动杆、分片载具、滑片坡道、载具升降机构、晶圆载具、以及晶圆载具保存水箱；其中，主机平台具有漏片孔；分片载具设置在主机平台上，通过传动杆与驱动机构相连；分片载具具有用于容纳晶圆的圆孔；上料台位于主机平台上方靠近边缘一侧，该上料台设有厚度挡板，该厚度挡板控制每次仅有一片晶圆进入圆孔，其余晶圆被厚度挡板挡住；驱动机构位于主机平台中部上方；滑片坡道的上端位于主机平台的漏片孔下方，下端对准晶圆载具的卡槽；晶圆载具置于晶圆载具保存水箱内，并由载具升降机构控制升降。

2.根据权利要求1所述的转盘式晶圆自动分片装载机，其特征在于，所述上料台设有防翻挡板，该防翻挡板压住即将进入漏片孔的晶圆，直到整个晶圆完全进入漏片孔，落在下方的滑片坡道上。

3.根据权利要求1所述的转盘式晶圆自动分片装载机，其特征在于，所述上料台还设有厚度标尺，该厚度标尺用于调节厚度挡板的厚度。

4.根据权利要求2所述的转盘式晶圆自动分片装载机，其特征在于，所述滑片坡道的上端开有流水孔，该流水孔通过水泵和管道与晶圆载具保存水箱相连。

5.根据权利要求1所述的转盘式晶圆自动分片装载机，其特征在于，载具升降机构主体包括支撑丝杠、伺服电机、载具放置平台，伺服电机驱动支撑丝杠，支撑丝杠支撑载具放置平台。