[发明专利]一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，包括：

步骤一、在柔性基底上预埋多对引线；

步骤二、利用镀膜设备在每对所述引线的连接端镀上一薄膜铂电阻，使得每对所述引线与一所述薄膜铂电阻连通。

2.如权利要求1所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，还包括步骤三，在所述柔性基底上粘连一柔性基板，所述柔性基板覆盖所述引线。

3.如权利要求2所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，还包括步骤四、检测每个所述薄膜铂电阻的电阻值；

在常温条件下检测每个所述薄膜铂电阻的电阻值，并去除电阻值不符合第一条件的所述薄膜铂电阻；

在200℃中对所述薄膜铂电阻热处理2h，检测热处理后的所述薄膜铂电阻的电阻值，并去除电阻值不符合第二条件的所述薄膜铂电阻；

其中，所述第一条件为电阻值在80-100欧姆范围内；所述第二条件为电阻值在40-60欧姆范围内。

4.如权利要求3所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，还包括步骤五，每个所述引线外接一导线。

5.如权利要求4所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器的制作方法，其特征在于，每个所述薄膜铂电阻电阻温度系数大于2×10^-3/℃。

6.一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器，其特征在于，包括：

柔性基底；

设置在所述柔性基底上的多个薄膜铂电阻结构，每个所薄膜铂电阻结构包括镀一薄膜铂电阻和分别连接所述薄膜铂电阻两端的两根引线；所述引线内埋在所述柔性基底中。

7.如权利要求6所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器，其特征在于，还包括一柔性基板；

所述柔性基板设置在所述柔性基底上，且覆盖所述引线。

8.如权利要求7所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器，其特征在于，还包括多对导线；

每对所述导线与每个所述薄膜铂电阻结构中的两根引线连接。

9.如权利要求6所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器，其特征在于，每个所述薄膜铂电阻的常温条件下的电阻值为80-100欧姆；每个所述薄膜铂电阻在200℃中热处理2h后，其电阻值为40-60欧姆。

10.如权利要求6所述的具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器，其特征在于，每个所述薄膜铂电阻的电阻温度系数大于2×10^-3/℃。