[发明专利]一种真空自密封光学洁净系统

权利要求书

1.一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元；所述自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接；所述操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。

2.根据权利要求1所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述自密封装置包括有封盖板、框架、光束输入输出端口、光路平台、充气口、真空口；所述封盖板与框架之间固定连接；所述光路平台与框架固定连接；所述光束输入输出端口、充气口和真空口设置在框架上；所述充气口与充氮气单元连接；所述抽气口与抽真空单元连接；所述环境监测单元设置在由框架、封盖板和光路平台组成的封闭区域内。

3.根据权利要求2所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述框架和封盖板之间的接触面上设置有密封件。

4.根据权利要求2所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述光束输入输出端口与框架的接触面上设置有密封件。

5.根据权利要求2所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述框架上设置有加强筋。

6.根据权利要求2所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述框架上设置有电气连接板。

7.根据权利要求2所述的一种真空自密封光学洁净系统，其特征是：所述光路平台与框架的接触面上设置有密封件。