[发明专利]彩膜基板及其制作方法、显示装置

权利要求书

1.一种制作彩膜基板的方法，所述彩膜基板包括衬底基板、形成在衬底基板上的至少一种颜色的多个彩色滤光片、以及形成在衬底基板上的黑矩阵；所述黑矩阵具有多个开口，所述多个开口与所述至少一种颜色的多个彩色滤光片一一对应；其特征在于，所述方法包括：

利用一个半色调掩模板在所述衬底基板上形成所述至少一种颜色的多个彩色滤光片；以及

利用同一个半色调掩模板形成所述黑矩阵；其中，在垂直于所述衬底基板的横截面中，彩色滤光片的边缘与黑矩阵的开口边缘具有交叠区域；在所述交叠区域中，彩色滤光片的形状和黑矩阵具有互补的形状；形成所述彩色滤光片的光刻胶为负性光刻胶；形成所述黑矩阵的光刻胶为正性光刻胶。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用一个半色调掩模板在所述衬底基板上形成所述至少一种颜色的多个彩色滤光片包括：

对于所述至少一种颜色中的各个颜色，分别地：将所述半色调掩模板与所述至少一种颜色之一的彩色滤光片的位置进行对准并执行曝光工艺和显影工艺以形成所述至少一种颜色之一的彩色滤光片。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用同一个半色调掩模板形成所述黑矩阵包括：

对于所述至少一种颜色中的各个颜色，分别地将所述半色调掩模板与所述至少一种颜色之一的多个彩色滤光片对准并执行曝光工艺；以及

执行显影工艺以形成所述具有多个开口的黑矩阵。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种颜色的多个彩色滤光片包括红色滤光片、绿色滤光片和蓝色滤光片。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种颜色的彩色滤光片包括红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片和白色滤光片。