[发明专利]用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统有效
| 申请号： | 201510960082.9 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105445931B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王丽萍;张海涛;马冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 补偿器 光学系统 透射 非球面凹镜 补偿组 检测 凹非球面 球面波 加工装配难度 非球面面形 误差因素 波像差 非球面 共光路 匹配 测量 引入 转化 | ||
1.用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，包括透射组(1)、补偿组(2)和待检非球面凹镜(3)，所述透射组(1)透射球面波，补偿组(2)将透射组(1)提供的球面波转化为与待检非球面凹镜(3)匹配的非球面波；其特征是；所述透射组(1)的F/#为3.1，补偿组(2)的F/#为3.7，待检非球面凹镜(3)的F/#为1.8。
2.根据权利要求1所述的用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于，所述透射组(1)由三个单片球面透镜构成，且三个单片球面透镜的材料为熔石英。
3.根据权利要求1或2所述的用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于，所述透射组(1)透射球面波像差设计值小于0.005λRMS，λ为波长。
4.根据权利要求1所述的用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统其特征在于，所述补偿组(2)由单个球面透镜构成，且透镜材料为熔石英。
5.根据权利要求1所述的用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于，待检非球面凹镜(3)的圆锥系数K为0.01，非球面度8μm。
6.根据权利要求1所述的用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于，补偿器光学系统的波像差泽尼克多项式三阶球差Z9项系数为0.01，波像差泽尼克多项式五阶球差项Z16系数为0.0004，实现了像差补偿。
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