[发明专利]产品的批优先级调整装置及调整方法

说明书

本发明揭示了一种产品的批优先级调整装置及调整方法。所述调整装置包括输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。利用所述装置进行调整时，能够直观的展现出每批产品的紧急程度，从而使得产品的批优先级调整合理，使得生产过程稳定，容易把控。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种产品的批优先级调整装置及调整方法。

背景技术

当前一条半导体生产线的待加工产品(也即生产线在制品，WIP)，通常是包括多种不同的产品(product)，对于每种产品，则是会涉及到不同工艺节点(如28纳米、38纳米等)的器件(device)。因此，在晶圆沿着生产线一步步被加工执行时，其在每一站点(stage)，都将占据一定的优先级(priority)，尤其是在待加工产品数量较多时，每批晶圆的优先级将更加重要和严格。

在实际生产中，通常会出现一种情况：某批产品(或晶圆)由于特殊原因(例如设备异常，客户需求调整等)，需要将一些产品的优先级进行大幅调整。这种改动如若缺乏正确的管控，容易导致生产线紊乱，造成资源的浪费。

传统的优先等级调整方式，仅以需求调整比率(Request Turn Ratio)来衡量，其计算方法为(交货日期-当前日期)/剩余站点数量(Remain Stage Count)作为参考依据。该方式有以下缺陷：一方面，生产线的流速并不是完全一致的，各个生产线各段(Loop)的流速不同，相对于流速快的生产段，在流速较慢的生产段中，产品批(LOT)可能需要更高的等级；另一方面，不同的器件因生产流程(Flow)不同，即便在同一生产段中，其流速也不相同。

具体可参考图1和图2，其中图1为现有技术中产品的批优先级等级比例分布图，图2为现有技术中经过人为调整产品的批优先级等级后的比例分布图。如图1所示，等级1占据了较大部分，而等级3则很少，可见等级分配杂乱无章，且等级比例分配不合理，势必导致生产资源的浪费。如图2所示，当某些产品的等级需要变动时，虽然由于人为的调整使得优先级得以细化，但是却引发变化剧烈，从而导致生产线压力变化过大，也不利于生产。

因此可见，现有的方法无法进行合理的优先等级分配。

发明内容

本发明的目的在于提供一种产品的批优先级调整装置及调整方法，以对产品批的优先级进行合理的调整，避免失控。

为解决上述技术问题，本发明提供一种产品的批优先级调整装置，包括：输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。

可选的，对于所述的产品的批优先级调整装置，所述生产信息包括所述目标批产品的交货日期、第一时期内的待加工产品数、第二时期内的已有待加工产品数和已有动态生产周期。

可选的，对于所述的产品的批优先级调整装置，所述第一时期为自当天起72小时之内的一段时间；所述第二时期为在当天之前选择大于等于30天的一段时间。

相应的，本发明还提供一种利用所述的产品的批优先级调整装置进行产品的批优先级调整方法，包括：

由输入模块输入待加工产品的生产信息；