[发明专利]基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置

权利要求书

1.基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，主要包括光源腔(1)、真空腔(3)、第一分子泵(4)、第一机械泵(5)和第一真空计(6)；

其特征在于，还包括气体样品池(2)、第二分子泵(7)、第二机械泵(8)、第二真空计(9)和流量计(10)；

所述气体样品池(2)的一端与光源腔(1)密封连接，另一端与真空腔(3)密封连接，气体样品池(2)与真空腔(3)之间设有阀门；

所述气体样品池(2)设有中间孔道(2-1)和外围孔道(2-2)；

所述中间孔道(2-1)的两端以薄膜密封，中间孔道(2-1)的侧壁上设有与光源腔(1)连接的旁通入口(2-1-1)、与流量计(10)连接的气体接入口(2-1-2)、与第二分子泵(7)连接的分子泵接入口(2-1-3)以及与第二真空计(9)连接的真空计接入口(2-1-4)，且光源腔(1)与旁通入口(2-1-1)间设有旁通阀，第二分子泵(7)与分子泵接入口(2-1-3)之间设有阀门；

所述外围孔道(2-2)为多个，沿中间孔道(2-1)的中心轴圆周分布，外围孔道(2-2)的两端分别与光源腔(1)和真空腔(3)连通；

所述第二机械泵(8)与第二分子泵(7)连接；

所述流量计(10)的另一端与气源连接，且流量计(10)与气源之间设有阀门。

2.根据权利要求1所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述光源腔(1)上设有排气阀，所述第一分子泵(4)和第一真空计(6)分别与光源腔(1)连接，所述第一机械泵(5)与第一分子泵(4)连接。

3.根据权利要求2所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述第一机械泵(5)与第一分子泵(4)之间设有阀门。

4.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述薄膜的厚度为200-300nm。

5.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述薄膜为Zr膜或者Si膜。

6.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述外围孔道(2-2)的截面为扇形。

7.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述多个外围孔道(2-2)沿圆周均布。

8.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述气体样品池(2)为六边形柱体。

9.根据权利要求1-3任何一项所述的基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置，其特征在于，所述气体样品池(2)与光源腔(1)、真空腔(3)分别通过波纹管密封连接。