[发明专利]用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统在审
| 申请号： | 201510962268.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105572864A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王丽萍;张海涛;马冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 超高 精度 球面 检测 补偿 光学系统 | ||
1.用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，包括透射组(1)、补偿组(2)和待检 非球面凸镜(3)，所述透射组(1)透射球面波，补偿组(2)将透射组(1)透射的球面波转化为 与待检非球面凸镜(3)匹配的非球面波；其特征是；所述透射组(1)的F/#为10，补偿组(2)的 F/#为6.4，待检非球面凸镜(3)的F/#为3.6。
2.根据权利要求1所述的用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于， 所述透射组(1)由透镜L1、透镜L2和透镜L3构成，所述透镜L1，透镜L2及透镜L3材料为熔石 英。
3.根据权利要求1或2所述的用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，其特征在 于，补偿组(2)由透镜L4构成，所述透镜L4的材料为熔石英。
4.根据权利要求3所述的用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于， 所述透镜组(1)透射球面波像差设计值小于0.005λRMS，λ为波长。
5.根据权利要求3所述的用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于， 所述待检非球面凸镜(3)的圆锥系数K为3.27，非球面度20μm。
6.根据权利要求5所述的用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统，其特征在于， 补偿器光学系统的波像差泽尼克多项式三阶球差Z9项系数为0.0006，波像差泽尼克多项式 五阶球差项Z16系数为-0.0004，实现了像差补偿。
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