[发明专利]用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构

权利要求书

1.用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，包括底部支撑板(1)、锆膜安装板(3)、齿条(4)、直线导套(5)、直线导套座(6)、移动导套座(7)、齿轮(8)、步进电机(10)、第一光轴(11)、直线作动器(12)、滚珠导套(13)、支撑板(14)、第二光轴(15)、U型支撑座(16)和弹簧(18)；

其特征是，底部支撑板(1)固定于曝光真空腔内；底部支撑板(1)的两端对称固定U型支撑座(16)，在所述U型支撑座(16)上设置移动导套座(7)，滚珠导套(13)固定在移动导套座(7)上，通过第二光轴(15)将U型支撑座(16)、滚珠导套(13)和移动导套座(7)连接；

所述移动导套座(7)与直线导套座(6)连接，直线作动器(12)固定在支撑板(14)上并与直线导套座(6)连接，所述支撑板(14)固定在底部支撑板(1)上；

所述弹簧(18)的一端通过弹簧座(17)固定在移动导套座(7)上，另一端固定在U型支撑座(16)上；

所述第一光轴(11)安装在锆膜安装板(3)上，第一光轴(11)与直线导套(5)装配在直线导套座(6)上；

在所述直线作动器(12)驱动下，移动导套座(7)沿第二光轴(15)的光轴方向运动时带动直线导套座(6)运动，实现锆膜安装板(3)的运动；

所述锆膜(20)为多个，且多个锆膜(20)沿第一光轴(11)方向依次固定在锆膜安装板(3)上，所述齿条(4)安装在锆膜安装板(3)顶部，齿轮(8)与步进电机(10)固紧，步进电机(10)通过电机安装座(9)固定在直线导套座(6)上，调整齿轮(8)的位置，使齿轮(8)与齿条(4)配合，实现锆膜安装板(3)沿第一光轴(11)方向运动，实现锆膜(20)的置换。

2.根据权利要求1所述的用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，其特征在于，在所述锆膜(20)与锆膜安装板(3)之间的接触面加O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，其特征在于，固定在所述移动导套座(7)和U型支撑座(16)之间的弹簧(18)为两组。

4.根据权利要求1所述的用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，其特征在于，所述第一光轴(11)为两个，每个第一光轴(11)通过两个光轴支撑座(2)安装在锆膜安装板(3)上。

5.根据权利要求1所述的用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，其特征在于，在所述锆膜安装板(3)上设置通光孔(19)，所述通光孔(19)作为置换机构的初始零位，保证置换时锆膜(20)与通光孔(19)同心。