[发明专利]一种碳化硅微粉过滤装置有效
| 申请号： | 201510964102.X | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105617804B | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 胡祥龙;戴煜;刘先交 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410118 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 过滤 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅微粉过滤装置，用于真空泵抽气过程中碳化硅微粉的过滤，其特征在于，包括：
过滤筒，用于给碳化硅微粉的过滤提供空间；
进气口，设置于所述过滤筒侧壁下方，用于待过滤尾气的输入；
出气管，设置于所述过滤筒的内部，所述出气管上端一直延伸至所述过滤筒的顶板处且与所述过滤筒的顶板之间设置有间隙，所述出气管下端贯穿所述过滤筒的底板与外设的真空泵连接，所述出气管用于已过滤尾气的输出；
螺旋叶片，设置于所述出气管的外壁上且所述螺旋叶片呈层状布置，用于碳化硅微粉的吸附；
挥发液油，设置于所述过滤筒的内部，用于给碳化硅微粉的吸附提供粘力。
2.根据权利要求1所述的碳化硅微粉过滤装置，其特征在于，所述螺旋叶片的外径与所述过滤筒的内径相等。
3.根据权利要求1所述的碳化硅微粉过滤装置，其特征在于，所述螺旋叶片可拆卸式连接在所述出气管的外壁上。
4.根据权利要求1所述的碳化硅微粉过滤装置，其特征在于，所述过滤筒内部设置有环形挡板，所述环形挡板高度方向上位于所述进气口之上，所述环形挡板用于减小待过滤尾气上升的速度。
5.根据权利要求1所述的碳化硅微粉过滤装置，其特征在于，所述进气口处设置有滤网。
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