[发明专利]一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置

权利要求书

1.一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置，其特征在于，包括支撑单元(3)、支撑盘(2)和球形凸台(4)，多组所述支撑单元(3)在环形支撑盘(2)上圆周均布；

所述支撑单元(3)包括V型块结构(301)和柔性片体(302)，所述V型块结构(301)周向两端面分别通过多个柔性片体(302)与所述支撑盘(2)固定连接，光学元件(1)一个端面上圆周均布多个球形凸台(4)，多个球形凸台(4)分别与多组支撑单元(3)中的V型块结构(301)配合接触，所述球形凸台(4)与所述光学元件(1)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置，其特征在于，每个所述球形凸台(4)和对应的V型块结构(301)通过两个点接触型高副相接触配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置，其特征在于，所述支撑单元(3)的数量为3个。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑装置还包括凸台背板(5)，所述凸台背板(5)设置在光学元件(1)上表面，多个所述凸台背板(5)分别和多个球形凸台(4)位置相对应，所述球形凸台(4)和对应的凸台背板(5)通过紧固螺栓联接在所述光学元件(1)上。