[发明专利]光机一体化快速控制反射镜

权利要求书

1.光机一体化快速控制反射镜，包括促动器(2)、弹性套筒(3)、传感器(4)、传感器感应 垫(5)、弹性回转中心环(6)、第一轴向弹性片(7)、第二轴向弹性片(8)、中心支撑座(9)、防 护环(10)、外壳(11)、走线孔(12)、电控底板(13)和底座(14)；其特征是，

所述传感器感应垫(5)固定于反射镜(1)上，通过弹性套筒(3)将反射镜(1)与促动器 (2)固连；

所述弹性回转中心环(6)在径向上与反射镜(1)的中心孔连接，在轴向与第一轴向弹性 片(7)、第二轴向弹性片(8)和中心支撑座(9)串联；

所述促动器(2)、传感器(4)、中心支撑座(9)和外壳(11)分别固定于底座(14)上，所述 底座(14)上设置有走线孔(12)；所述防护环(10)固定于外壳(11)上；

所述促动器(2)和传感器(4)的电线集中于相关线路板上，所述电控底板(13)用于封闭 相关线路板。

2.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，弹性回转中心环 (6)的轴向和径向均设置有轴向弹性环节(6-1)和径向弹性环节(6-2)，轴向弹性环节(6-1) 产生的回转中心与反射镜的质心重合；径向弹性环节(6-2)用于降低装配和温度变化对反 射镜面型的影响。

3.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，所述促动器(2)、弹 性套筒(3)、传感器(4)和传感器感应垫(5)的数量和布局方式一致，实现对反射镜位置的闭 环控制。

4.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，所述促动器(2)采 用带预紧的压电陶瓷，四点均布，与所述促动器(2)连接的弹性套筒(3)的材料热特性与反 射镜(1)匹配。

5.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，所述传感器(4)采 用非接触式电涡流位移传感器，对反射镜(1)的位置实时测量并反馈，实现对反射镜的闭环 控制。

6.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，所述防护环(10)材 料为高弹性橡胶。

7.根据权利要求1所述的光机一体化快速控制反射镜，其特征在于，所述传感器感应垫 (5)的尺寸与传感器(4)的要求相匹配。