[发明专利]改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法有效
申请号: | 201510969103.3 | 申请日: | 2015-12-22 |
公开(公告)号: | CN105439149B | 公开(公告)日: | 2017-07-11 |
发明(设计)人: | 沈祖祥;王姗;冉耘瑞;陈建 | 申请(专利权)人: | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司51226 | 代理人: | 柯海军,武森涛 |
地址: | 610000 四川省成都市新津工业园区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改良 西门子 还原 提高 多晶 一次 沉积 方法 | ||
1.一种改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法,其特征在于,氢气与三氯氢硅之原始摩尔比值为4,提高后的氢气与三氯氢硅之摩尔比值为8,即n=8-4=4;原始一次沉积率η0为9-11%,摩尔比提高到8之后,代入公式:η=(1+0.06)nη0,多晶硅一次沉积率η提高到12-14%;一次沉积多晶硅量,即一台还原炉周期产量达到4.1吨/周期.台;
氢气与三氯氢硅之摩尔比值=4时;供料SiHCl3量:221—181吨/周期;副产SiHCl3量:100.0--102.0吨/周期;副产SiCl4量:126.0--75.0吨/周期;副产SiHCl3/SiCl4的mol比:1.0--1.7;其他微量略;
氢气与三氯氢硅之摩尔比值=8时;供料SiHCl3量:166—133吨/周期;副产SiHCl3量:80.0--78.0吨/周期;副产SiCl4量:84.0--45.0吨/周期;副产SiHCl3/SiCl4的mol比:1.2--2.2;其他微量略。
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