[发明专利]一种紫外焦平面阵列响应特性测试装置及方法

权利要求书

1.一种紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其特征在于，包括： 连续谱紫外积分球、单色LED积分球、激光导入积分球、扩束镜、标 准探测器、二维平移台、固定平台、遮光暗箱、光源、激光稳功率系 统、散热系统；

连续谱紫外积分球、单色LED积分球、激光导入积分球的输出口 通过遮光暗箱的开孔连接到遮光暗箱上，其中，连续谱紫外积分球和 遮光暗箱直接相连，单色LED积分球、激光导入积分球经过扩束镜之 后和遮光暗箱相连；

遮光暗箱内放置二维平移台和探测器的固定平台；

光源1对应于连续谱紫外积分球，采用氘灯和紫外LED共同发光； 光源2对应于单色LED积分球，采用单色紫外LED发光；激光导入积 分球采用紫外激光器光源，并通过激光功率稳定系统后进入到激光导 入积分球中。

2.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，还包括稳定性监视设备，在连续谱紫外积分球、单色LED 积分球、激光导入积分球上面分别布置了监视光电二极管探测器，光 电二极管探测器将光学信号转换为电流信号，通过IV转换器转换为 电压信号，计算机通过USB接口远程控制数据采集卡，测量电压信号 实现紫外积分球参考光源辐射特性的监视。

3.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，所述光源2为LED发光单元，有两种：其中一种峰值波长 为365nm，其光功率达到900mW；另外一种峰值波长为280nm，其 光功率达到90mW；对365nm波长点和280nm波长点进行响应率标 定。

4.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，所述扩束镜f/#设计为2.5，出光口设计直径为50mm，扩 束镜焦距为250mm，光源的发散角约为2.86°。

5.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，所述激光导入积分球采用球内旋转漫射板对激光产生的散 斑进行去除，外部激光通过激光导入积分球下方的一个反射镜导入到 激光导入积分球内部的漫反射板上，反射镜安装在三维平台上；在激 光导入积分球上安装微型直流电机，电机带动漫射板旋转，外部激光 入射在旋转漫射板上，用步进电机带动漫射板旋转，通过控制发送脉 冲的速度调节漫射板的转速。

6.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，所述氘灯的散热通过散热风扇风冷实现，连续谱紫外积分 球和单色LED积分球上安装的LED发光单元通过温控制冷。

7.如权利要求6所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，采用压缩机制水冷方式进行散热温控，循环水在冷水机里 进过制冷温控输出，依次通过LED发光单元散热组件，最后返回冷水 机里面进行冷却温控处理，形成温控闭环。

8.如权利要求7所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，LED直接贴装焊接在铜基板上，铜基板背面涂抹高散热性 硅脂，然后压装在水冷块上面，水冷块中间设计蛇形水槽。

9.如权利要求1所述的紫外焦平面阵列响应特性测量装置，其 特征在于，所述遮光暗箱前端开有三个积分球入光开孔，箱体整体采 用两半、斜开合结构、金属合页连接方式；箱体两侧有大方开孔，以 便于侧面的操作和观察，采用平移侧门的方式，测量时请将侧门处于 关闭状态，侧面还有电缆出线的开孔，也有盖板遮挡开孔。

10.基于权利要求1至9任一项所述装置的紫外焦平面阵列响应 特性测量方法，其特征在于，

实际工作时，被测探测器或者标准探测器放置在二维平移台的支 架上，并和积分球输出口保持一定距离；调整位移台，使探测器正对 积分球的输出口；当进行响应率参数的测量时，探测器放置在单色 LED积分球或激光导入积分球的前方；积分球出射光分别被标准探测 器和被测探测器接收后，将测试数据发送给计算机；当进行响应率非 均匀性、噪声参数测量时，被测探测器放置在连续谱紫外积分球正前 方，积分球出射光被被测探测器接收后，将测试数据发送给计算机。