[发明专利]一种位移可调节精密定位平台

权利要求书

1.一种位移可调节精密定位平台，其特征在于，包括:起支承和保护作用的底座（1），其通过四周均匀分布的螺纹孔安装在精密光学隔振平台上；通过交叉旋转导轨实现X轴Y轴位移和R轴旋转三个自由度方向上微调的手动可调架滑台平台（2），所述手动可调架滑台平台（2）通过底部均匀分布的四个沉头螺钉与底座（1）固接，其工作台面上均匀分布若干个螺纹孔；平台垫块（8），被安装在可调架位移滑台平台（2）上的平台工作面（14）上，支承柔顺铰链精密定位平台（11），且具有用于安装柔顺铰链精密定位平台（11）的螺纹孔；柔顺铰链精密定位平台（11），在电磁驱动器（9）的驱动左右下可实现X轴Y轴两自由度方向上的位移，其通过螺纹连接安装在所述平台垫块（8）上；四块电磁衔铁（10），其通过螺纹连接对称安装在所述柔顺铰链精密定位平台（11）的四个方位上；起支承和转接作用的Z轴直角转接板（13），其通过底部螺钉和底座上的定位块（12）固定在所述平台底座（1）上；作为整个平台的驱动设备的电磁驱动器（9），其通过螺纹连接安装在所述Z轴直角转接板（13）上，正对所述电磁衔铁（10）。

2.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述手动可调架滑台平台（2）由两个具有V型滚道的导轨、滚子保持架圆柱滚子组成，相互交叉排列的圆柱滚子在经过精密磨削的V型滚道面上往复运动，可在X轴Y轴方向上实现行程达±6.5mm的平稳直线运动，精度可达0.01mm。

3.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述手动可调架滑台平台（2）在R轴方向上可实现360o粗调以及±5o精调，粗精调之间可通过粗精调切换螺丝（5）进行切换。

4.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述手动可调架滑台平台（2）的X轴Y轴方向分别通过X轴方向微分头（4）、Y轴方向微分头（7）进行调节，且每个方向分别设置X轴反向锁紧螺丝16和Y轴方向锁紧螺丝15压紧对应的锁紧片来固定滑台平台；R轴方向上设置对置止动螺丝（3）从R轴方向微分头（6）的相反方向获得固定力。

5.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述手动可调架滑台平台（2）除了安装螺钉外均采用铝合金材AL7075-T651，且都经过黑色阳极氧化处理。

6.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述Z轴直角转接板（13）采用一体式铝块加工而成，表面经过黑色阳极氧化处理，并设置有肋板结构。

7.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述电磁驱动器（9）为吸盘式方形电磁铁，工作电压为24VDC，功率达10W。

8.根据权利要求1所述的位移可调节精密定位平台，其特征在于：所述平台垫块（8）采用的材质为铝合金材料AL7075-T651。