[发明专利]改善石墨膜的平坦性的方法、以及石墨膜及其制造方法在审
申请号: | 201510971545.1 | 申请日: | 2011-05-12 |
公开(公告)号: | CN105565301A | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 太田雄介;稻田敬;三代真琴;稻田卓;西川泰司 | 申请(专利权)人: | 株式会社钟化 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡曼 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改善 石墨 平坦 方法 以及 及其 制造 | ||
【权利要求书】:
1.一种石墨膜,其特征在于,JISC2151中记载的松弛度评价中的松 弛度Zgs除以宽度Ugs而得的值Zgs/Ugs为0.2以下。
2.如权利要求1所述的石墨膜,其特征在于,面方向的热扩散率为 5.0cm2/s以上,厚度为7μm以上120μm以下,宽度Ugs为100mm以上,面积为 5m2以上。
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