[发明专利]一种外光路补偿调节装置及由其构成的激光器在审
申请号: | 201510974621.4 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105428966A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 唐霞辉;韩蒙蒙;秦应雄;夏燃;肖龙胜;高雪松;万辰皓 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02;G02B7/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 廖盈春 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外光路 补偿 调节 装置 构成 激光器 | ||
1.一种外光路补偿调节装置,其包括转折镜(12)、微位移驱动器(9)和可转动基座(13),其特征在于:
所述转折镜(12)呈直角三棱柱形,通过自身的一个底面固定在所述可转动基座(13)上,三棱柱形的斜面是反射面,用于将垂直于固定底面的入射激光方向,转向90度,改为平行于固定底面方向;通过所述可转动基座(13)的转动,可调节所述转折镜(12)的偏转角度;
所述微位移驱动器(9)是压电陶瓷型,其一端固定,另一端由第一连杆(10)通过连杆圆轴(19)和第二连杆(11)活动连接;第二连杆(11)的另一端连接到转折镜(12)的另一个底面,第二连杆(11)中部通过固定圆轴(20)旋转固定;第一连杆(10)的水平移动能带动第二连杆(11)相对于固定圆轴(20)的转动;通过改变外加在微位移驱动器(9)上电压的大小,改变第一连杆(10)的水平位移量,带动第二连杆(11)两端绕圆轴(20)转动,从而带动其另一端固定连接的转折镜(12)转动。
2.根据权利要求1所述的外光路补偿调节装置,其特征在于,所述可转动基座(13)包括金属块(14)、弹簧组(15)、内凹圆形底座(17)和与之相匹配的外凸圆形柄(16),金属块(14)用于固定所述转折镜(12),外凸圆形柄(16)一端与金属块(14)固定连接,另一端开有一圆通孔,通过底座圆轴(18),使外凸圆面(16)与内凹圆形底座(17)的内凹圆面转动相切配合,外凸圆形柄(16)能以底座圆轴(18)为轴心相对于内凹圆形底座(17)转动。
3.根据权利要求1或2所述的外光路补偿调节装置,其特征在于,所述的弹簧组(15)由三根结构尺寸和力学参数相同、呈直角三角形布放的弹簧组成。
4.一种基于权利要求1或2或3所述外光路补偿调节装置的激光器,包括激光器(1)、外光路补偿调节装置(2)、光路整形模块(3)、聚焦球面镜(4)和反馈控制模块(8),其特征在于:
外光路补偿调节装置(2)的转折镜对准激光器(1)出光窗,用于将激光器(1)反射后,入射到聚焦球面镜(4)上;
所述聚焦球面镜(4)与转折镜位于同一光路,其焦点处为光路整形模块的空间滤波器(5);激光经聚焦球面镜(4)对输出光束的非稳方向进行聚焦,并对输出光束的波导方向进行准直后,送入光路整形模块(3);
所述光路整形模块(3)包括空间滤波器(5),柱面镜(6),输出球面镜(7),三者在同一光轴上;其中柱面镜(6)位于输出球面镜(7)之前、空间滤波器(5)之后;用于消除输出光束中的旁瓣,改善输出光束非稳方向的光束质量;
反馈控制模块(8)的传感器安装在输出激光光路上,其输出端与外光路补偿调节装置(2)相连,用于控制转折镜动作;反馈控制模块(8)通过传感器检测光路整形模块(3)的出射激光,根据检测到的输出光功率的变化,计算出需要加载在微位移驱动器(9)上的电压,然后将电信号传递给外光路补偿调节装置(2),控制微位移驱动器(9)产生相应的位移,从而使转折镜偏转角度,达到自动调节的目的。
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