[发明专利]一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构有效
申请号: | 201510977191.1 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN105428321B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 张崤君 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L23/373;H01L21/52 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 王占华 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气密性 芯片 倒装 安装 陶瓷 阵列 外壳 结构 | ||
1.一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,包括陶瓷基板(1)和散热盖板(3),所述基板(1)在与芯片安装区域对应排布栅格形式的芯片倒装安装焊盘,用于与芯片输入/输出端口连接,所述基板(1)的另一侧排布植球或植柱焊盘作为外部引出端,所述基板(1)内部为多层布线结构,能够实现芯片输入/输出端口与外部引出端互联,所述盖板(3)的中部设有热沉,用于与芯片背面粘接,其特征在于:还包括金属封口环(2),其位于基板(1)和盖板(3)之间,对基板(1)和盖板(3)气密性封闭连接,芯片安装于所述封口环(2)内部;金属封口环(2)与陶瓷基板(1)钎焊连接,金属封口环(2)的上端通过平行缝焊方式与散热盖板(3)焊接;盖板的四边侧面底部设有矩形缺口,金属封口环包括环体,环体的底部与基板纤焊连接,环体的上部向环内伸出形成伸出部,伸出部的前段位于盖板的矩形缺口处,且其顶面与盖板矩形缺口底面构成平面接触,伸出部的前段与盖板焊接,伸出部的前段在矩形缺口内与该缺口侧面留有间隙;伸出部的前段厚度大于伸出部的后段厚度。
2.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述植球或植柱焊盘按照1.0mm或1.27mm节距排布。
3.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述金属封口环(2)与陶瓷基板(1)钎焊连接用钎料为AgCu28合金。
4.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述芯片倒装安装焊盘节距为150μm。
5.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述金属封口环(2)材料为铁镍合金或铁镍钴合金。
6.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述散热盖板(3)的材料为铁镍合金,热沉材料为钨铜、钼铜或铝基碳化硅合金。
7.根据权利要求1所述的一种气密性芯片倒装安装用陶瓷焊盘阵列外壳结构,其特征在于,所述陶瓷基板(1)为多层氧化铝陶瓷钨金属化高温共烧制得。
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