[发明专利]一种四氟化硅的制备及纯化方法在审
申请号: | 201510979401.0 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN105502410A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 蒋玉贵;李翔宇;孟祥军;张净普;胡帅;朱文冬;张长金 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 周蜜;仇蕾安 |
地址: | 056027*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氟化 制备 纯化 方法 | ||
1.一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括:
将含硅物质与含氟物质混合进行反应,制备得到四氟化硅;
含硅物质为硅、硅烷、二氧化硅、硅胶、金属硅化物、三氯氢硅、二氯氢硅、一氯氢硅、 四氯化硅、溴化硅、碘化硅、氮化硅、碳化硅、硼化硅和硫化硅中的一种以上;
含氟物质为三氟化氮、氟气、碳酰氟、三氟化氯和一氟化氯中的一种以上;
对于不同的含硅物质和含氟物质,反应压力均为﹣0.09MPa~5MPa,反应温度分别如下:
(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为701℃~3999℃;
(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2001℃~3999℃;
(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为﹣49℃~3999℃。
2.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:含氟物质中的氟原子 与含硅物质中的硅原子的物质的量之比为0.025~40:1。
3.根据权利要求1或2所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:反应压力为﹣ 0.05MPa~1MPa或0.05MPa~0.5MPa。
4.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:
(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为701℃~3499℃;
(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2051℃~3499℃;
(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为1℃~1499℃。
5.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:
(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为851℃~2999℃;
(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2101℃~2999℃;
(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为1℃~999℃。
6.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:
(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为1001℃~2699℃;
(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2501℃~2699℃;
(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为51℃~499℃。
7.根据权利要求1或2所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:使用添加稀释介 质进行稀释,稀释介质为氮气、空气、氦气和四氟化硅中的至少一种,被稀释物质为含硅物 质和/或含氟物质;稀释介质在含硅物质和含氟物质混合前加入,稀释含硅物质或含氟物质中 的至少一方,或在含硅物质和含氟物质混合后加入;
和/或使用催化剂,催化剂为银的金属氟化物、钴的金属氟化物、锰的金属氟化物、锡的 金属氟化物和铈的金属氟化物中的至少一种。
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