[发明专利]一种四氟化硅的制备及纯化方法在审

专利信息
申请号: 201510979401.0 申请日: 2015-12-23
公开(公告)号: CN105502410A 公开(公告)日: 2016-04-20
发明(设计)人: 蒋玉贵;李翔宇;孟祥军;张净普;胡帅;朱文冬;张长金 申请(专利权)人: 中国船舶重工集团公司第七一八研究所
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 周蜜;仇蕾安
地址: 056027*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 氟化 制备 纯化 方法
【权利要求书】:

1.一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括:

将含硅物质与含氟物质混合进行反应,制备得到四氟化硅;

含硅物质为硅、硅烷、二氧化硅、硅胶、金属硅化物、三氯氢硅、二氯氢硅、一氯氢硅、 四氯化硅、溴化硅、碘化硅、氮化硅、碳化硅、硼化硅和硫化硅中的一种以上;

含氟物质为三氟化氮、氟气、碳酰氟、三氟化氯和一氟化氯中的一种以上;

对于不同的含硅物质和含氟物质,反应压力均为﹣0.09MPa~5MPa,反应温度分别如下:

(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为701℃~3999℃;

(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2001℃~3999℃;

(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为﹣49℃~3999℃。

2.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:含氟物质中的氟原子 与含硅物质中的硅原子的物质的量之比为0.025~40:1。

3.根据权利要求1或2所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:反应压力为﹣ 0.05MPa~1MPa或0.05MPa~0.5MPa。

4.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:

(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为701℃~3499℃;

(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2051℃~3499℃;

(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为1℃~1499℃。

5.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:

(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为851℃~2999℃;

(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2101℃~2999℃;

(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为1℃~999℃。

6.根据权利要求3述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:对于不同的含硅物质和 含氟物质:

(1)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为三氟化氮时,反应温度为1001℃~2699℃;

(2)当含硅物质为二氧化硅,含氟物质为氟气时,反应温度为2501℃~2699℃;

(3)除(1)和(2)外,其他的含硅物质和含氟物质时,反应温度为51℃~499℃。

7.根据权利要求1或2所述的一种四氟化硅的制备方法,其特征在于:使用添加稀释介 质进行稀释,稀释介质为氮气、空气、氦气和四氟化硅中的至少一种,被稀释物质为含硅物 质和/或含氟物质;稀释介质在含硅物质和含氟物质混合前加入,稀释含硅物质或含氟物质中 的至少一方,或在含硅物质和含氟物质混合后加入;

和/或使用催化剂,催化剂为银的金属氟化物、钴的金属氟化物、锰的金属氟化物、锡的 金属氟化物和铈的金属氟化物中的至少一种。

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