[发明专利]与经外涂布的光致抗蚀剂一起使用的涂层组合物

权利要求书

1.一种用于形成光致抗蚀剂凸纹图像的方法，其包含：

a)在衬底上涂覆涂层组合物层，所述涂层组合物包含1)基质聚合物，所述基质聚合物是聚酯；和2)表面能控制剂；

b)在所述涂层组合物层上方涂覆正型光致抗蚀剂组合物层；

c)通过负型显影使正型光致抗蚀剂组合物层形成凸纹图像，

其中所述表面能控制剂选自聚(乙二醇)和其醚。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述表面能 控制剂的数量平均分子量是300到5,000。

3.根据权利要求1所述的方法，其中按所述涂层组合物的总固体含量计，所述涂层组合物包含呈1重量％到10重量％的量的所述表面能控制 剂。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述涂层组合物层在涂覆所述光致抗蚀剂组合物层前经热处理。

5.一种经涂布衬底，其包含：

在其上具有以下各者的衬底：

1)涂层组合物，其包含a)基质聚合物，所述基质聚合物是聚酯；和b)表面能控制剂；

2)涂层组合物层上方的正型光致抗蚀剂组合物层；和

3)正型光致抗蚀剂组合物层通过负型显影形成的凸纹图像，

其中所述表面能控制剂选自聚(乙二醇)和其醚。