[发明专利]传感器模块以及传感器模块的制造方法

权利要求书

1.一种传感器模块，其特征在于，

具备：隔板部；以及检测部，形成在所述隔板部的平面部并且对压力进行检测，

所述检测部具有：多个应变仪，对应变量进行检测；电阻元件连接部，分别连接在所述应变仪之中相邻的应变仪之间；以及导电体部，覆盖所述电阻元件连接部的一部分，

与各个所述应变仪连接并且一部分从所述导电体部露出的所述电阻元件连接部的直线部分的每一个相对于彼此在相反侧的方向延伸，

所述电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的所述直线部分与所述导电体部的横穿所述直线部分的边正交。

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述电阻元件连接部分别连接于所述应变仪的两端，

横穿这些电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分的边彼此平行。

3.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述应变仪具备在所述隔板部的中央部配置的2个以上的中央部用应变仪以及在所述隔板部的外周部配置的2个以上的外周部用应变仪，

在所述中央部用应变仪中，分别在两端部连接有所述电阻元件连接部，这些电阻元件连接部的直线部分与所述导电体部之中的横穿所述直线部分的边彼此平行。

4.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述应变仪和所述电阻元件连接部由相同的材料形成。

5.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述隔板部被形成在筒状部的端部，在所述筒状部的内部导入被测定流体。

6.一种传感器模块的制造方法，所述制造方法是制造根据权利要求1至权利要求5的任一项所述的传感器模块的方法，所述方法的特征在于，

在所述隔板部对所述应变仪和所述电阻元件连接部进行图案形成，

在所述电阻元件连接部的直线部分的一部分重叠导电性材料来形成所述检测部。