[发明专利]一种大面积平行堆栈式封装结构和封装方法有效

专利信息
申请号: 201510982782.8 申请日: 2015-12-24
公开(公告)号: CN105405777B 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 颜莉华 申请(专利权)人: 南京慧感电子科技有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 胡晶
地址: 210000 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基板 划线槽 元器件 封装结构 平行堆栈 芯片 外封盖 封装 制备方法工艺 半导体工艺 产品封装 基板电性 平行方式 堆栈 划槽 良率 兼容 承载
【说明书】:

发明公开了一种大面积平行堆栈式封装结构和封装方法,包括基板、划线槽、外封盖、多个待封芯片和/或元器件,其中:所述基板,用以承载待封芯片和/或元器件;所述多个待封芯片和/或元器件,以平行方式依次堆栈在所述基板上,并与所述基板电性连接;所述划线槽,形成于基板的划槽区域上;所述外封盖,通过所述划线槽套设在所述基板上。本发明可以有效提高产品封装的良率,总体降低产品的成本,且制备方法工艺简单,效果显著,且兼容于一般的半导体工艺,适用于工业生产。

技术领域

本发明属于半导体封装技术领域,尤其是涉及一种大面积平行堆栈式封装结构和封装方法。

背景技术

目前半导体制造行业,封装的结构和方式多种多样,但是总体的趋势是产品的小型化,以及产品功能的多样化。

封装的分类方式有多种:

如果按照封装的材料来分,可以分为塑料封装、陶瓷封装以及金属封装;

如果按照和PCB板连接的方式来分,可以分为通孔式封装(Plating ThroughHole,简称PTH)和表面贴装式封装(Surface Mount Technology,简称SMT);

如果按照封装的外形来分,可以分为四方无引脚扁平封装(Quad Flat No-leadPackage,简称QFN)、四方引脚扁平式封装(Quad Flat Package,简称QFT)、小外形IC封装(Small Outline Integrated Circuit Package,简称SOIC)、薄小外形封装(Thin ShrinkSmall Outline Package,简称TSSOP)、球栅阵列式封装(Ball Grid Array,简称BGA)和芯片尺寸级封装(Chip Size Package,简称CSP)。

封装的方式也从传统的平面式封装发展到现在的3D式封装,为了使得产品能够大规模的生产,封装厂通常会采用晶圆级的封装。

现有技术中存在诸多不足:

首先,比如在半导体镜头和模组的封装中,使用晶圆级的堆叠封装可以快速大规模的生产。但对于这样的生产,晶圆堆栈的偏差是非常关键和重要的瓶颈,它直接关系到产品的良率和最终的产出。而堆栈的精准度往往要求1-2微米,对于多层堆叠的封装,这样的误差会累积,使得最终合格的产品非常少。为了提高产品对位的精准度,往往需要投入大量的资金购置昂贵的机台,以提高产品的良率。

其次,产品的良率很难把握。在多层堆叠时,中间产品的良率不可控制,往往需要到所有工艺流程做完,才能检测产品的性能。中间任何一步工艺如果发生较大的偏差,都会导致整片晶圆的所有产品报废。

最后,产品的封装费用在产品整体的成本中占非常大的比例,以上这样的晶圆封装方式使得产品稳定性差,工艺和设备要求高,但最终的产品良率低,总体生产成本高。这就需要开发更高效的封装方式或封装结构,提高总体的封装良率。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种大面积平行堆栈式的封装结构和工艺,将切割并测试完成的芯片封装在晶圆或者基板上,通过大面积平行堆栈的方式完成结构封装,在完成单层或者多层堆栈后进行切割,分离之后获得单个产品,以此提供了一种工艺简单、可控性良好且可靠性高的封装结构和工艺。

为了达到上述发明目的,解决其技术问题所采用的技术方案如下:

本发明公开了一种大面积平行堆栈式封装结构,包括基板、划线槽、外封盖、多个待封芯片和/或元器件,其中:

所述基板,用以承载待封芯片和/或元器件;

所述多个待封芯片和/或元器件,以平行方式依次堆栈在所述基板上,并与所述基板电性连接;

所述划线槽,形成于基板的划槽区域上;

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