[发明专利]一种多晶硅料智能检测和分类运输装置及方法

权利要求书

1.一种多晶硅料智能检测和分类运输装置，其特征在于，包括第一运输带，所述第一运输带上放置待检测硅块，在所述第一运输带两侧依次设有p/n检测仪、少子寿命/电阻率测试仪、数量检测仪和至少一个智能分类系统，所述智能检测系统根据检测的结果对硅块进行分区放置，分区包括第一分类区、第二分类区和第三分类区，所述第一分类区、第二分类区和第三分类区在所述第一运输带下方并与第一运输带垂直设置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅料智能检测和分类运输装置，其特征在于，所述第一分类区、第二分类区和第三分类区分别设置有运输托盘。

3.根据权利要求1所述的多晶硅料智能检测和分类运输装置，其特征在于，在所述少子寿命/电阻率测试仪下方且与所述第一运输带垂直方向设有第二运输带和第三运输带。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的多晶硅料智能检测和分类运输装置，其特征在于，所述p/n检测仪、少子寿命/电阻率测试仪、数量检测仪和智能分类系统均由PLC控制。

5.根据权利要求3所述的多晶硅料智能检测和分类运输装置，其特征在于，所述第二运输带上设有第二智能分类系统；第三运输带上设有第三智能分类系统。

6.一种采用权利要求1-5所述的装置对多晶硅料进行智能检测和分类运输的方法，其特征在于，包括以下步骤：

硅块经第一运输带带动运行，通过p/n类型检测仪，判断硅料是n型还是p型，与PLC里的类型进行比较；

经过少子寿命/电阻率测试仪，检测硅块的电阻率和少子寿命，与PLC里的数据库进行比较；

若为p型硅料，且少子寿命>2μs，电阻率≤0.5Ω·cm，所述智能分类系统将硅块放到第一分类区的运输托盘上，并运输到指定位置，对硅块进行再次提纯或再调P、B含量；

若为p型硅料，且少子寿命>2μs，电阻率为0.5~3Ω·cm，智能分类系统将硅块放到第二分类区运输托盘上，并运输到指定位置进行待切片；

若为p型硅料，且少子寿命>2μs，电阻率≥3Ω·cm，智能分类系统将硅块放到第三分类区的运输托盘上，运输到指定区域，对硅块进行再调P、B含量；

若为p型硅料，且少子寿命<2μs，硅块将在第一运输带上继续前行，进入另一智能分类系统；

若为n型硅料，且少子寿命<2μs,硅料将自动转到第二运输带上，进入另一智能分类系统进行再次提纯或者调整P、B含量；

若为n型硅料，且少子寿命>2μs,硅料将自动转到第三运输带上，进入另一智能分类系统进行再次提纯或者调整P、B含量。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤（3）中运输托盘中硅块的数量达到设置硅锭块数时，运输托盘将自动沿着轨道运输到指定区域，对硅块进行再次提纯或再调P、B含量。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤（4）中运输托盘中硅块的数量达到设置硅锭块数时，运输托盘将自动沿着轨道运输到指定区域切片仓库，对硅块进行待切片。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤（5）中运输托盘中硅块的数量达到设置硅锭块数时，运输托盘将自动沿着轨道运输到指定区域对硅块进行再调P、B含量。