[发明专利]一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法

说明书

本发明公开了一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法，声表面波器件放入氟油检漏试验装置前，预先准备一个金属导电容器，然后向金属导电容器中加入导电介质，接着将声表面波器件平放在导电介质上，使声表面波器件的输入电极、输出电极与接地电极有效电连接，最后金属导电容器放入氟油检漏试验装置中即可进行氟油检漏试验。取出时，先冷却至室温，然后将金属导电容器取出，待氟油滤除干净后，再将导电介质和声表面波器件通过导电筛网分离即可。本发明彻底避免静电积累造成器件烧伤，该方法采用金属导电容器，操作方便，效果好。

技术领域

本发明涉及声表面波器件环境试验损坏的防护，特别涉及了一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法。

背景技术

声表面波（以下简称SAW）器件是电子设备中一类重要的频率器件，用于实现信号滤波、延时和编码等功能。随着科学技术发展，声表面波器件应用面和使用量越来越大。

由于声表面波器件是以压电基片为基础材料，在表面制作特定的叉指电极而成，压电基片具有较强的热释电效应，在温度急剧变化时，会产生较强的静电电荷，累积于叉指换能器间，静电达到一定强度后，可能出现静电放电，引起叉指电极损伤或者击穿，造成器件性能恶化或损坏失效。

根据SAW器件工作原理，若有灰尘、水汽等污染物质附着于SAW器件芯片表面时，将对SAW器件的电性能及可靠性产品恶化影响。为了隔绝这些外界因素影响，军用声表面波器件均采用了气密性封装方式。根据GJB 2600A-2009 《声表面波器件通用规范》及GJB 548B-2005 《微电子器件试验方法和程序》的规定，军用声表面波器件必需要进行气密性（包括粗检漏和细检漏）试验，其中粗检漏国内均采用氟油检漏方式进行。在氟油检漏试验时，声表面波器件需要淹埋在125℃的氟油中，通过观察有无气泡冒出，以判断器件是否存在问题。在这一检测过程中，声表面波器件存在热释电效应而累积大量静电电荷。

虽然现有技术在防止声表面波器件在氟油检漏中温度急剧变化引起的静电烧伤方面做了一些工作，一般采用器件直接侵入（125±5）℃氟油中，器件顶部应在液面以下侵入深度5cm，保证能清晰观察器件冒出的气泡及其源的方式进行。但这些方法因不能确保SAW器件良好接地，导致静电防护效果不理想，始终存在器件的静电烧伤问题，致使部分器件损伤报废，造成了较大的经济损失。

发明内容

针对现有技术存在的上述不足，本发明的目的在于提供一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法，该方法能彻底消除声表面波器件在氟油检漏中的静电烧伤，且使用方便，成本低。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种防止声表面波器件在氟油检漏试验中静电烧伤的方法，包括声表面波器件放入氟油检漏试验装置和从氟油检漏试验装置中取出两个过程，其特征在于：

声表面波器件放入氟油检漏试验装置前，预先准备一个金属导电容器，金属导电容器的底部和侧壁设有漏油孔，然后向金属导电容器中加入导电介质，接着将声表面波器件平放在导电介质上，使声表面波器件的输入电极、输出电极与接地电极有效电连接，最后将装有声表面波器件和导电介质的金属导电容器放入氟油检漏试验装置中即可进行氟油检漏试验；

声表面波器件从氟油检漏试验装置中取出时，先将声表面波器件冷却至室温，然后将金属导电容器取出，待氟油通过金属导电容器漏油孔滤除干净后，再将导电介质和声表面波器件通过导电筛网分离即可。

所述导电介质为微球或其它形状的颗粒，大小以能使声表面波器件的输入电极、输出电极与接地电极有效电连接为准，且不带入污染物。

所述导电介质的高度要求不得低于容器总高度的2/3。

在氟油检漏试验中，不得有锈斑和其它污染物排出。