[发明专利]一种二氯二氢硅组分的检测方法

权利要求书

1.一种二氯二氢硅组分的检测方法，使用气象色谱-质谱联用仪进行组分检测，检测过程中使用了进样装置（1），进样装置（1）包括密封器（2）和水浴槽（3），包括以下步骤：

1）使用氮气对密封器（2）内进行排空处理，氮气对密封器（2）内部进行吹扫10分钟，以完全排尽密封器（2）内的空气；

2）将经由液氮冷却的固态二氯二氢硅放入到密封器（2）内，抽取真空，使密封器（2）内部的真空度为0Pa；

3）将密封器（2）置于水浴槽（3）中，使用流动的纯水进行水浴，水温在0-25℃之间，待密封器（2）内的固态的二氯二氢硅完全变成液态后，在水浴槽（3）中通入少量液氮，使温度控制在0℃左右，等待3-8分钟，使密封器（2）内的气液达到平衡；

4)用导管（4）通入载气加压，样品随着载气一起进样；

5）采用岛津GC-2014型气相色谱仪、热导检测器对进样进行检测分析，其中：

色谱条件：RTX-VMS（30m*0.25mm*1.4μm）；温度：检测器200℃，进样口150℃，柱温80℃；分流方式进样，分流比：10：1，进样10μl；柱流量：高纯氦2ml/min；尾吹：高纯氦30ml/min；

6）将步骤4）取样后得到的密封器（2）进行处理，重复进行步骤3）-步骤5)，根据保留时间来确定其出峰位置，定性测试。

2.根据权利要求1所述的一种二氯二氢硅组分的检测方法，其特征在于：所述步骤4）中的载气为氦气。

3.根据权利要求1所述的一种二氯二氢硅组分的检测方法，其特征在于：所述进样装置（1）底部的水浴槽（3）上设置有三根导管（4），一根用于导入液氮，一根用于导入常温下的纯水，一根用于排水；密封器（2）上设置有三根导管（4），一根用以接入纯净的氮气，一根用于排空，一根用于抽取真空。

4.根据权利要求3所述的一种二氯二氢硅组分的检测方法，其特征在于：所述导管（4）为不锈钢导管。