[发明专利]抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法

权利要求书

1.一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，其包括如下步骤：

a)布置电极片：在叶片的外边缘设置电极片，所述电极片与所述叶片的外边缘具有一距离；所述距离根据所述叶片的外边缘处的鞘层厚度确定；

b)叶片装卡：将所述叶片及所述电极片放入真空室内，所述真空室内设置有电弧靶，所述真空室内填充有第一气体；

c)沉积耐冲蚀涂层：对所述叶片及所述电极片通入第一偏压，对所述电弧靶通入第一电流，所述电弧靶分离出金属离子，所述第一气体分离出第一离子，所述金属离子与所述第一离子结合后沉积于所述叶片的外表面。

2.如权利要求1所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤b)与所述步骤c)之间包括离子清洗步骤：在所述真空室内通入氩气，开启气体离子源，所述氩气分离出氩离子后，通过所述氩离子对所述叶片的外表面进行清洗。

3.如权利要求2所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述离子清洗步骤中，通入所述真空室内的所述氩气的流量为100sccm～200sccm，所述真空室内的压强为0.1Pa～0.3Pa。

4.如权利要求2所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述离子清洗步骤中，所述离子清洗时间为30min～60min。

5.如权利要求1所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤a)之前包括对所述叶片的外表面进行抛光的步骤：将所述叶片表面抛光至粗糙度0.8以下，并将抛光后的所述叶片放入超声波用丙酮液中进行清洗。

6.如权利要求1所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，所述第一气体为氮气。

7.如权利要求6所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤c)中，通入所述第一气体的流量为100sccm～400sccm，所述真空室内的压强为0.3Pa～0.6Pa。

8.如权利要求6所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤c)中，所述第一偏压为-100V～-200V，所述第一电流为100A～160A。

9.如权利要求6所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤c)中，沉积耐冲蚀涂层的时间为2～6小时。

10.如权利要求1所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法，其特征在于，在所述步骤c)中，将所述叶片及所述电极片连接于一底座，对所述底座通入所述第一偏压。