[发明专利]平板玻璃表面的异物检测装置

说明书

本申请是申请号201010141431.1，申请日2010年03月25日，发明名称 为“平板玻璃表面的异物检测装置”发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种平板玻璃(flatglassplate)表面的异物检测装置，更具 体而言，涉及一种可对蒸镀着微电路(micro-circuit)的图案的面的异物进行 准确检测的平板玻璃表面的异物检测装置。

背景技术

用于平板显示器(platdisplay)的平板玻璃，只在一面上蒸镀着微电路的 图案，玻璃业界将该面称作“A面”，而另一面上并未蒸镀着微电路的图案， 且玻璃业界将该另一面称作“B面”。

在平板玻璃的A面的表面有异物的情况下，如果将微电路的图案蒸镀在 此异物之上，则容易引起微电路的图案不良。因此，必须在蒸镀微电路的图 案之前，准确检查出玻璃基板(特别是应蒸镀着电路的A面)上是否有异物。

图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。现有的平板玻璃 表面的异物检测装置使用激光束(laserbeam)照射部20将具有较小厚度的 激光束从倾斜方向射入至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通过平板 玻璃后会透过该平板玻璃而形成一种透过激光束35，而所射入的激光束31 的剩余部分则被平板玻璃所反射，从而形成反射激光束33。

如图1所示，当使激光束以与平板玻璃的面形成较大角度的方式而从倾 斜方向射入时，所射入的激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光 束35到达平板玻璃的B面的部位之间会存在δL程度的水平距离上的差异。

当在A面的上部使用A面摄像装置11来对异物进行拍摄时，能够对只 存在于平面玻璃的A面上的异物进行拍摄。此时的原理中利用了如下现象， 即，当A面摄像装置11进行拍摄时，仅到达平板玻璃的A面的激光束因A 面的异物81而产生散射并朝向透镜(lens)射入，而到达平板玻璃的B面的 激光束在偏离了δL程度的位置处到达平板玻璃的B面，因此不会射入至A 面摄像装置11的透镜中。然而，图1的现有的平板玻璃表面的异物检测装置 中存在如下问题：如果所使用的激光束的厚度不是非常薄，则无法只对平板 玻璃的A面的异物进行检测，而根据现实中能够使用的激光束的厚度，存在 于平板玻璃的B面上的一部分异物91也会一同被检测到。

因平板玻璃的A面与平板玻璃的B面上附着有异物不过是普通的现象， 所以在如图1所示的现有的异物检测装置中会检测到位于平板玻璃的B面上 的一部分异物，因而如果使用该检测结果，则无法获取与平板玻璃的A面上 的异物相关的准确信息。此外，目前的现状为，如果平板玻璃的厚度越薄， 则射入激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束35到达平板玻璃 的B面部位之间的水平距离上的差异即δL减少，从而检测结果更不准确。

另一问题则为：当平板玻璃的移送装置上下振动时，准确地区分A面的 异物与B面的异物将变得更加困难。因而存在如下问题，即：为了解决如上 所述的问题，必须在现有的平板玻璃的异物检测装置中使用高价的精密搬送 设备。

发明内容

本发明是为了解决所述问题而完成的，其目的在于提供一种平板玻璃表 面的异物检测装置，其即便使用上下振动的相对廉价的搬送装备，也能够对 附着于蒸镀着微电路的图案的平板玻璃的表面的A面上的异物进行准确检 测。