[发明专利]一种富含水的羟胺剥离清洗液有效

专利信息
申请号: 201510996527.9 申请日: 2015-12-25
公开(公告)号: CN106919011B 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 黄达辉;刘兵;彭洪修 申请(专利权)人: 安集微电子科技(上海)股份有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 北京大成律师事务所 11352 代理人: 李佳铭
地址: 201201 上海市浦东新区华东路*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 含水 剥离 清洗
【权利要求书】:

1.一种富含水的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述羟胺剥离清洗液包含羟胺、有机溶剂、烷基苯酚、芳基有机酸以及水,且所述羟胺剥离清洗液不包括醇胺;

所述芳基有机酸选自苯甲酸、苯乙酸、邻苯二乙酸、间苯二乙酸、4-正丁氧基苯甲酸、4-甲氧基苯甲酸、4-叔丁基苯甲酸、4-正丁氧基苯乙酸中的一种或多种;

所述羟胺的含量为1-20%;

所述有机溶剂的含量为1-50%;

所述烷基苯酚的含量为0.1-5%;

所述芳基有机酸的含量为0.01-2%。

2.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述羟胺的含量为1-15%。

3.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述有机溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种。

4.如权利要求3所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述亚砜选自二甲基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种;所述砜选自甲基砜和环丁砜中的一种或多种;所述咪唑烷酮选自2-咪唑烷酮和1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一种或多种;所述吡咯烷酮选自N-甲基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种;所述咪唑啉酮为1,3-二甲基-2-咪唑啉酮;所述酰胺选自二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一种或多种;所述醇醚选自二乙二醇单丁醚和二丙二醇单甲醚中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述有机溶剂的含量为1-40%。

6.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述烷基苯酚选自4-叔丁基邻苯二酚、2-甲基苯酚、2,6-二甲基苯酚、4,5-二甲基间苯二酚、2-甲基间苯二酚、2,6-二甲基对苯二酚、4-甲基邻苯二酚、4-甲基对苯二酚、2-甲基苯酚、2-丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2,6-二叔丁基苯酚中的一种或多种。

7.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述烷基苯酚的含量为0.1-3%。

8.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述的芳基有机酸的含量为0.01-1%。

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