[发明专利]一种富含水的羟胺剥离清洗液有效
申请号: | 201510996527.9 | 申请日: | 2015-12-25 |
公开(公告)号: | CN106919011B | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 黄达辉;刘兵;彭洪修 | 申请(专利权)人: | 安集微电子科技(上海)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 含水 剥离 清洗 | ||
1.一种富含水的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述羟胺剥离清洗液包含羟胺、有机溶剂、烷基苯酚、芳基有机酸以及水,且所述羟胺剥离清洗液不包括醇胺;
所述芳基有机酸选自苯甲酸、苯乙酸、邻苯二乙酸、间苯二乙酸、4-正丁氧基苯甲酸、4-甲氧基苯甲酸、4-叔丁基苯甲酸、4-正丁氧基苯乙酸中的一种或多种;
所述羟胺的含量为1-20%;
所述有机溶剂的含量为1-50%;
所述烷基苯酚的含量为0.1-5%;
所述芳基有机酸的含量为0.01-2%。
2.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述羟胺的含量为1-15%。
3.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述有机溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种。
4.如权利要求3所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述亚砜选自二甲基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种;所述砜选自甲基砜和环丁砜中的一种或多种;所述咪唑烷酮选自2-咪唑烷酮和1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一种或多种;所述吡咯烷酮选自N-甲基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种;所述咪唑啉酮为1,3-二甲基-2-咪唑啉酮;所述酰胺选自二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一种或多种;所述醇醚选自二乙二醇单丁醚和二丙二醇单甲醚中的一种或多种。
5.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述有机溶剂的含量为1-40%。
6.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述烷基苯酚选自4-叔丁基邻苯二酚、2-甲基苯酚、2,6-二甲基苯酚、4,5-二甲基间苯二酚、2-甲基间苯二酚、2,6-二甲基对苯二酚、4-甲基邻苯二酚、4-甲基对苯二酚、2-甲基苯酚、2-丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2,6-二叔丁基苯酚中的一种或多种。
7.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述烷基苯酚的含量为0.1-3%。
8.如权利要求1所述的羟胺剥离清洗液,其特征在于,所述的芳基有机酸的含量为0.01-1%。
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